誤差発生要因の最小化による高安定長ストロークサブナノ位置決めシステムの実現

2009 年度 研究成果報告書

• 研究課題/領域番号: 20686011
• 研究種目: 若手研究(A)
• 配分区分: 補助金
• 研究分野: 生産工学・加工学
• 研究機関: 東京工業大学
• 研究代表者: 吉岡 勇人 東京工業大学, 精密工学研究所, 准教授 (90361758)
• 研究期間 (年度): 2008 – 2009
• キーワード: 位置決め / 超精密 / レーザ干渉計 / リニアモータ / サブナノメートル

研究概要

本研究では,数百ミリメートルに渡る駆動範囲において安定的にサブナノメートル精度の位置決めを実現するため,新たな位置決めテーブルシステム構造について検討を行っている.システムの構造配置,駆動要素,案内要素,計測要素,ならびに制御要素について誤差を排除あるいは抑制する構成とすることで,次世代で要求される性能を実現している.開発した位置決めシステムの性能評価実験を行った結果,実際にサブナノメートルオーダの位置決めが可能であることを確認している.

研究成果

• [雑誌論文] 超精密加工機「a ngel」の特徴と今後の展開 (2009)
  • 著者名/発表者名: 吉岡勇人, 新野秀憲
  • 雑誌名: 型技術 v24,n4 ページ: 103-106
• [雑誌論文] A Newly Developed Long-Stroke Vertical Nano-Motion Platform with Gravity Compensator, Journal of Advanced Mechanical Design (2008)
  • 著者名/発表者名: Takahashi, M., Yoshioka, H., Shinno, H.
  • 雑誌名: Systems, and Manufacturing Vol.2,No.3 ページ: 356-365
  • 査読あり
• [雑誌論文] 完全非接触XY平面位置決めテーブルを用いた微細加工 (2008)
  • 著者名/発表者名: 吉岡勇人
  • 雑誌名: 日本機械学会誌 Vol.111,No.1071 ページ: 129
  • 査読あり
• [学会発表] A Newly Developed X-Y Planar Nano-Motion Table System with Large Travel Ranges (2009)
  • 著者名/発表者名: Yugo KURISAKI, Hiroshi SAWANO, Hayato YOSHIOKA, Hidenori Shinno
  • 学会等名: The 5th International Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st Century
  • 発表場所: Osaka, Japan
  • 年月日: 20091202-20091204
• [学会発表] Ultraprecision Machining System for Fabricating Nano-Devices, (poster session) (2009)
  • 著者名/発表者名: Takahashi, M., Yoshioka, H., Shinno, H.
  • 学会等名: Proceedings of the 9th International Conference of the euspen, San Sebastian
  • 発表場所: Spain
  • 年月日: 20090602-20090605
• [学会発表] Vertical nano-positioning system for precision machine (2008)
  • 著者名/発表者名: Yoshioka, H., Takahashi. M., Shinno, H.
  • 学会等名: Proceedings of the 10th Anniversary International Conference of the euspen, Zurich
  • 発表場所: Switzerland
  • 年月日: 20080518-20080522