| 研究概要 |
シリコン製光導波路中を伝搬する光の干渉を利用した高感度かつ小型な加速度センサを新たに提案した.このセンサでは光導波路がマッハツェンダ干渉計(MZI)の構造を取っており,さらにその分岐した導波路の一方が浮遊化しており,加速度印加によりたわむ.この結果,MZIの出力が変調する仕組みである.また,本センサ中では感度向上のために光導波路に片持梁を交差させているが,この交差部での光学損失を抑える手法として,多モード干渉(MMI)の利用を提案した.この効果は光学シミュレーションと実験結果より確認した.最終的に,作製した加速度センサの出力が力印加により変調することも確かめられた.
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