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2008 年度 実績報告書

ナノ・マイクロエンジニアリングにおける数理最適化の展開

研究課題

研究課題/領域番号 20710112
研究機関東京農工大学

研究代表者

宮代 隆平  東京農工大学, 大学院・共生科学技術研究院, 助教 (50376860)

キーワードOR / 数理工学 / 精密工学 / 最適化 / 数理計画 / 組合せ最適化 / アルゴリズム / マイクロエンジニアリング
研究概要

本研究の目的である「ナノ・マイクロエンジニアリングにおける数理的最適化の展開」について, 平成20年度の研究計画に従い, 「データ収集および問題の数理的構造の解明」に焦点をあてて研究を行った.
(1) 制約2次計画法および2次錐計画法を用いたアルゴリズムの開発
目的関数が複数の項の最大値という形で表され, なおかつ2次関数を含むタイプの問題は, 目的関数が滑らかでないため従来の微分情報を利用するタイプのアルゴリズムはうまく動作しなかった. この種の問題に対して, 制約2次計画法および2次錐計画法を用いたモデル化を行い, 最適解を高速に求めることに成功した.
(2) 混合0-1整数計画法を用いたアルゴリズムの開発
精密工学の分野に現れる, ある種類の最適なフィッティングを求める問題に対して, 混合0-1整数計画法を用いたモデル化を行い, 最適解を求めるアルゴリズムを開発した. 従来この種の問題は, 最小2乗法もしくはその改良法などを用いて答えが求められていたが, ある種の近似を行った結果であり, あくまでも得られる出力は近似最適解にすぎなかった. 本研究の成果を利用することにより, 真の最適解を求めることができ, また従来の近似最適解の精度があまり高くないことが判明した.

  • 研究成果

    (3件)

すべて 2009 2008

すべて 雑誌論文 (2件) (うち査読あり 2件) 学会発表 (1件)

  • [雑誌論文] 制約2次計画法および2次錐計画法を用いた半導体露光装置用レンズの最適調整2009

    • 著者名/発表者名
      品野勇治, 吉原俊幸, 宮代隆平, 深川容三
    • 雑誌名

      日本機械学会論文集C編 75

      ページ: 157-163

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Optimization of alignment in semiconductor lithography equipment2009

    • 著者名/発表者名
      Ryuhei Miyashiro, Youzou Fukagawa
    • 雑誌名

      Precision Engineering 33(印刷中)

    • 査読あり
  • [学会発表] 混合整数計画法とその適用事例2008

    • 著者名/発表者名
      宮代隆平
    • 学会等名
      日本オペレーションズ・リサーチ学会平成20年度第1回ORセミナー
    • 発表場所
      構造計画研究所, 東京
    • 年月日
      2008-08-28

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公開日: 2010-06-11   更新日: 2016-04-21  

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