ナノ・マイクロエンジニアリングにおける数理最適化の展開

2010 年度 研究成果報告書

• 研究課題/領域番号: 20710112
• 研究種目: 若手研究(B)
• 配分区分: 補助金
• 研究分野: 社会システム工学・安全システム
• 研究機関: 東京農工大学
• 研究代表者: 宮代 隆平 東京農工大学, 大学院・工学研究院, 特任准教授 (50376860)
• 研究期間 (年度): 2008 – 2010
• キーワード: OR / 数理工学 / 精密工学 / 最適化 / アルゴリズム

研究概要

ナノ・マイクロエンジニアリングに代表される,非常に小さな物体を扱う精密工学の現場においては,誤差が部品の精度などに大きく影響を与える.このような場合には,従来の最適化計算は誤差に影響されて正しい答えを求めるのが難しかったが,本研究では誤差の影響が少ない,最適な答えを求める数理的手法を開発した.研究の成果は,精密工学の現場においてより小さな製品の開発などに利用できる,有用なものである.

研究成果

• [雑誌論文] An improved approximation algorithm for the traveling tournament problem (2011)
  • 著者名/発表者名: Daisuke Yamaguchi, Shinji Imahori, Ryuhei Miyashiro, Tomomi Matsui
  • 雑誌名: Algorithmica 印刷中
  • 査読あり
• [雑誌論文] An improved approximation algorithm for the traveling tournament problem (2010)
  • 著者名/発表者名: 山口大輔, 今掘慎治, 宮代隆平, 松井知己
  • 雑誌名: 統計数理研究所共同研究リポート 252巻 ページ: 1-14
• [雑誌論文] Optimization of lens adjustment in semiconductor lithography equipment using quadratically constrained and second- order cone programming (2010)
  • 著者名/発表者名: Yuji Shinano,Toshiyuki Yoshihara,Ryuhei Miyashiro,Youzou Fukagawa
  • 雑誌名: Journal of Advanced Mechanical Design, Systems, and Manufacturing Vol.4 ページ: 785-793
  • 査読あり
• [雑誌論文] Optimization of alignment in semi-conductor lithography equipment (2009)
  • 著者名/発表者名: Ryuhei Miyashiro, Youzou Fukagawa
  • 雑誌名: Precision Engineering Vol.33 ページ: 327-332
  • 査読あり
• [雑誌論文] 制約2次計画法および2次錐計画法を用いた半導体露光装置用レンズの最適調整 (2009)
  • 著者名/発表者名: 品野勇治, 吉原俊幸, 宮代隆平, 深川容三
  • 雑誌名: 日本機械学会論文集C編 75巻 ページ: 157-163
  • 査読あり
• [雑誌論文] An approximation algorithm for the traveling tournament problem
  • 著者名/発表者名: Ryuhei Miyashiro, Shinji Imahori, Tomomi Matsui
  • 雑誌名: Annals of Operations Research 印刷中(掲載確定)
  • 査読あり
• [学会発表] An Approximation Algorithm for the Unconstrained Traveling Tournament Problem (2010)
  • 著者名/発表者名: Shinji Imahori, Tomomi Matsui, Ryuhei Miyashiro
  • 学会等名: The 8th International Conference on the Practice and Theory of Automated Timetabling (PATAT 2010)
  • 発表場所: Queen's University Belfast, Northern Ireland, United Kingdom
  • 年月日: 2010-08-10
• [学会発表] 加法的実装誤差の不連続性を考慮したレンズ間隔調整のロバスト最適化 (2010)
  • 著者名/発表者名: 宮代隆平
  • 学会等名: 研究集会「最適化:モデリングとアルゴリズム」,統計数理研究所
  • 発表場所: 統計数理研究所
  • 年月日: 2010-03-23
• [学会発表] An improved approximation algorithm for the traveling tournament problem (2009)
  • 著者名/発表者名: Daisuke Yamaguchi, Shinji Imahori, Ryuhei Miyashiro, Tomomi Matsui
  • 学会等名: The 20th International Symposium on Algorithms and Computation (ISAAC 2009)
  • 発表場所: Honolulu, Hawaii, USA
  • 年月日: 2009-12-18
• [学会発表] 誤差の離散性を考慮したレンズ調整のロバスト最適化 (2009)
  • 著者名/発表者名: 宮代隆平
  • 学会等名: 日本オペレーションズ・リサーチ学会2009年秋季研究発表会
  • 発表場所: 長崎大学
  • 年月日: 2009-09-10
• [学会発表] An improved approximation algorithm for the traveling tournament problem (2009)
  • 著者名/発表者名: Daisuke Yamaguchi, Shinji Imahori, Ryuhei Miyashiro, Tomomi Matsui
  • 学会等名: The 12th KOREA-JAPAN Joint Workshop on Algorithms and Computation (WAAC 2009)
  • 発表場所: Kookmin University, Korea
  • 年月日: 2009-07-04
• [産業財産権] 露光装置、調整方法及びデバイスの製造方法 (2009)
  • 発明者名: 宮代隆平, 品野勇治, 深川容三, 久保諭史, 高野義巳, 吉原俊幸
  • 権利者名: キヤノン株式会社、国立大学法人東京農工大学
  • 公開番号: 特許,特開2011-009575
  • 出願年月日: 2009-06-26