2009 年度研究成果報告書

軟X線ブロードバンド多層膜光学素子の非等周期構造設計および精密作製法の開発

研究課題

研究課題/領域番号	20760017
研究種目	若手研究(B)
配分区分	補助金
研究分野	薄膜・表面界面物性
研究機関	東北大学
研究代表者	津留俊英東北大学, 多元物質科学研究所, 助教 (30306526)
研究期間 (年度)	2008 – 2009
キーワード	超薄膜 / 多層膜 / 軟X線 / 広帯域 / 光学素子 / ミラー
研究概要	軟X線波長範囲で高反射帯をブロードバンド化した各種光学素子を実用化するために、数値最適化手法を用いた多層膜構造の設計法とブロードバンド多層膜光学素子の作製技術の開発を行った。多層膜の層毎に異なるナノメーター膜厚と場所毎に異なる膜厚分布を精密に制御した非等周期構造が形成できる多層膜成膜装置を構築し、ブロードバンド軟X線多層膜鏡を作製した。また、広い波長領域で使用できる反射型多層膜偏光子と炭素の窓用多層膜鏡の非等周期膜厚構造解を得た。