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2008 年度 実績報告書

Ge/Siヘテロ構造の歪開放機構の解明と刃状転位の新機能探索

研究課題

研究課題/領域番号 20760020
研究機関東京工業大学

研究代表者

藤本 義隆  東京工業大学, 大学院・理工学研究科, 特任助教 (70436244)

キーワードシリコン / ゲルマニウム / 半導体表面界面 / 刃状転位 / 第一原理計算 / ナノテクノロジー / 結晶成長
研究概要

Si系デバイスでのスケーリング則に依存しない性能向上技術に注目が集まっている。その中で、Si基板上のGeを新機能電子・光デバイスへと応用する試みがある。本研究では、第一原理的量子シミュレーションを用いて、Si基板上のGe膜中に生じる刃状転位の生成機構と基礎電子物性に関する研究を行っている。本年度では、まず、Si基板上に作成されたGe膜の成長の初期過程おけるエネルギー状態を調べた。その結果、通常ダイマーのミッシング構造が観測されるが、表面が水素化された場合は、これとは異なって、ダイマーのミッシングがない表面構造の方がエネルギー的に安定であることが分かった。次にSi基板とGe膜の界面近傍に存在する刃状転位の転位芯の原子構造を提案し、この提案した転位芯構造において、Ge膜庫に関するエネルギー計算を行った。その結果、Ge膜の層数が十分大きい場合、刃状転位構造のエネルギーが転位の生じていない場合のそれよりも低くなり、刃状転位の生じる可能性があることが分かった。また、刃状転位の転位芯構造に関する電子状態を調べ、STM像を求めた。その結果、転位芯の上方に、ある程度のGe層が積まれた場合でも、STM像上では転位芯に沿った方向に、転位線が現れることが分かった。また、印加電圧の違いにより、STM像上の転位線は明るく見える場合と暗くなる場合があることが分かった。この結果、刃状転位の転位芯は、STMを用いることで原子分解能の検出が可能であると考えられる。

  • 研究成果

    (7件)

すべて 2009 2008

すべて 雑誌論文 (1件) (うち査読あり 1件) 学会発表 (6件)

  • [雑誌論文] A new crystalline phase of four-fold coordinated silicon and germanium2008

    • 著者名/発表者名
      Yoshitaka Fujimoto, et.al.
    • 雑誌名

      New Journal of Physics 10

      ページ: 083001 1-8

    • 査読あり
  • [学会発表] Atomic structure and electronic property of new crystalline Si and Ge2009

    • 著者名/発表者名
      Y. Fujimoto, K. Koretsune, S. Saito, T. Miyake, A. Oshivama
    • 学会等名
      International Symposium on Nanoscience and Quantum Physirs
    • 発表場所
      International House of Japan, Tokyo
    • 年月日
      2009-02-25
  • [学会発表] Atomic geometry and electronic structure of new crystalline Si and Ge2008

    • 著者名/発表者名
      Y. Fujimoto, K. Koretsune, S. Saito, T. Miyake, A. Oshiyama
    • 学会等名
      The 11^<th> Asian Workshop On First-Principles Electronic Structure Calculations
    • 発表場所
      National Sun Yat-sen University, Taiwan
    • 年月日
      2008-11-04
  • [学会発表] 第一原理計算によるSi/Ge膜中の転位の原子・電子構造2008

    • 著者名/発表者名
      藤本義隆、岩田潤一、押山淳
    • 学会等名
      日本物理学会
    • 発表場所
      岩手大学 上田キャンパス
    • 年月日
      2008-09-23
  • [学会発表] シリコンとゲルマニウムの四配位新物質2008

    • 著者名/発表者名
      藤本義隆、是常隆、斎藤晋、三宅隆、押山淳
    • 学会等名
      日本物理学会
    • 発表場所
      岩手大学 上田キャンパス
    • 年月日
      2008-09-23
  • [学会発表] Formation and Stability of Dislocation Cores in Ge/Si(001)Heterostructures2008

    • 著者名/発表者名
      Y. Fujimoto, A. Oshiyama
    • 学会等名
      1^<st> International Conference of The Grand Challenge to Next-Generation Integrated Nanoscience
    • 発表場所
      Tokyo Academic Park, Tokyo
    • 年月日
      2008-06-04
  • [学会発表] Structural and electronic properties of new crystalline phase of Si and Ge2008

    • 著者名/発表者名
      Y. Fujimoto, K. Koretsune, S. Saito, T. Miyake, A. Oshiyama
    • 学会等名
      International Conference on Quantum Simulators and Design 2008
    • 発表場所
      National Museum of Emerging Science and Innovation, Tokyo
    • 年月日
      2008-06-02

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公開日: 2010-06-11   更新日: 2016-04-21  

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