スズドロップレットを用いたレーザー生成プラズマEUV光源からのデブリ挙動計測

2009 年度 研究成果報告書

• 研究課題/領域番号: 20760025
• 研究種目: 若手研究(B)
• 配分区分: 補助金
• 研究分野: 薄膜・表面界面物性
• 研究機関: 九州大学
• 研究代表者: 中村 大輔 九州大学, システム情報科学研究院, 助教 (40444864)
• 研究期間 (年度): 2008 – 2009
• キーワード: EUV / レーザー生成プラズマ / ドロップレット / LIF

研究概要

実用EUV光源として注目されているスズドロップレットをターゲットとしたレーザー生成プラズマに対して画像LIF分光計測と高時間分解シャドウグラフイメージングにより放出デブリの挙動計測を行なった.レーザー照射後のターゲット挙動や放出されるイオンや中性原子等の空間分布を詳細に解明した.

研究成果

• [雑誌論文] Ablation Dynamics of Tin Micro-Droplet Irradiated by Double Pulse Laser used for Extreme Ultraviolet Lithography Source (2008)
  • 著者名/発表者名: D. Nakamura, T. Akiyama, K. Okazaki, A. Takahashi, T. Okada
  • 雑誌名: Journal of Physics D: Applied Physics Vol.41 ページ: 245210
  • 査読あり
• [雑誌論文] Investigation of Debris Dynamics from Laser-Produced Tin Plasma for EUV Lithography Light Source (2008)
  • 著者名/発表者名: D. Nakamura, K. Tamaru, T. Akiyama, A. Takahashi, T. Okada
  • 雑誌名: Applied Physics A Vol.92 ページ: 767-772
  • 査読あり
• [学会発表] Diagnostics of Ablation Dynamics of Tin micro-Droplet for EUV Lithography Light Source (2009)
  • 著者名/発表者名: D. Nakamura, K. Okazaki, T. Akiyama, K. Toya, A. Takahashi, T. Okada, T. Yanagida, Y. Ueno, Y. Sasaki, T. Suganuma, M. Nakano, H. Komori, A. Sumitani, A. Endo
  • 学会等名: CLEO Pacific Rim 2009
  • 年月日: 20090900
• [学会発表] Dynamics of debris from laser-irradiated Sn droplet for EUV lithography light source (2009)
  • 著者名/発表者名: K. Okazaki, D. Nakamura, T. Akiyama, K. Toya, A. Takahashi, T. Okada
  • 学会等名: SPIE Photonics West
  • 年月日: 20090100
• [学会発表] ダブルパルス照射におけるスズドロップレットターゲットのアブレーション挙動計測 (2008)
  • 著者名/発表者名: 中村大輔, 秋山智哉, 岡崎功太, 高橋昭彦, 岡田龍雄
  • 学会等名: 応用物理学会学術講演会
  • 年月日: 20080900