試料走査タイプ共焦点走査型透過電子顕微鏡の開発と評価

2009 年度 研究成果報告書

• 研究課題/領域番号: 20760027
• 研究種目: 若手研究(B)
• 配分区分: 補助金
• 研究分野: 薄膜・表面界面物性
• 研究機関: 独立行政法人物質・材料研究機構
• 研究代表者: 橋本 綾子 独立行政法人物質・材料研究機構, ナノ計測センター, 研究員 (30327689)
• 研究期間 (年度): 2008 – 2009
• キーワード: 透過型電子顕微鏡 / 共焦点顕微鏡 / 三次元可視化法 / ピエゾ駆動試料ホルダー / 深さ分解能

研究概要

共焦点原理を電子顕微鏡に応用した共焦点走査型透過電子顕微鏡(共焦点STEM)による三次元イメージングに世界で初めて成功した。本研究では、光学系は固定したまま、試料のみを動かす試料走査システムを開発し、共焦点STEM観察を行った。また、ダイレクトビームでなく、散乱電子のみで像を形成させる環状暗視野-共焦点STEM法を採用することにより、深さ分解能を著しく向上させることができた。さらに、この方法を用いて、カーボン構造体の三次元構造や担持ナノ粒子の三次元分布などを観察・解析した。

研究成果

• [雑誌論文] Nanoscale Energy-Filtered Scanning Confocal Electron Microscopy Using a Double- Aberration-Corrected Transmission Electron Microscope (2010)
  • 著者名/発表者名: P. Wang, G. Behan, M. Takeguchi, A. Hashimoto, 他4名
  • 雑誌名: Phys. Rev. Lett. 104 ページ: 200801
  • 査読あり
• [雑誌論文] Three-Dimensional Optical Sectioning by Confocal Transmission Electron Microscopy with a Stage-Scanning System (2010)
  • 著者名/発表者名: A. Hashimoto, M. Shimojo, K. Mitsuishi, M. Takeguchi
  • 雑誌名: Microsco. Microanal. 16 ページ: 233
  • 査読あり
• [雑誌論文] Three-dimensional Imaging of Carbon Nanostructures by Scanning Confocal Electron Microscopy (2009)
  • 著者名/発表者名: A. Hashimoto, M. Takeguchi, K. Mitsuishi, M. Shimojo
  • 雑誌名: J. Appl. Phys. 106 ページ: 086101
  • 査読あり
• [雑誌論文] Bloch Wave-based Calculation of Imaging Properties of High-resolution Scanning Confocal Electron Microscopy (2008)
  • 著者名/発表者名: K. Mitsuishi, K. Iakoubovskii, M. Takeguchi, M. Shimojo, A. Hashimoto, K. Furuya
  • 雑誌名: Ultramicrosco. 108 ページ: 981
  • 査読あり
• [雑誌論文] Development of a Stage-scanning System for High-resolution Confocal STEM (2008)
  • 著者名/発表者名: M. Takeguchi, A. Hashimoto, M. Shimojo, K. Mitsuishi, K. Furuya
  • 雑誌名: J. Electron Microsco. 57 ページ: 123
  • 査読あり
• [学会発表] Z-sliced Imaging by Annular Dark Field Confocal Scanning Transmission Electron Microscopy (2009)
  • 著者名/発表者名: M. Takeguchi, A. Hashimoto, K. Mitsuishi, M. Shimojo
  • 学会等名: 7th International Symposium on Atomic Level Characterizations
  • 発表場所: Hawaii, USA.
  • 年月日: 20091207-20091212
• [学会発表] Depth Sectioning Property of Bright-field and Annular-dark-field Scanning Confocal Electron Microscopy (2009)
  • 著者名/発表者名: K. Mitsuishi, M. Takeguchi, A. Hashimoto, M. Shimojo, K. Ishizuka
  • 学会等名: The 12th Frontiers of Electron Microscopy in Materials Science 2009
  • 発表場所: Nagasaki, Japan
  • 年月日: 20090927-20091002
• [学会発表] Depth-sectioned Imaging by Annular Dark Field Confocal Scanning Transmission Electron Microscopy (2009)
  • 著者名/発表者名: M. Takeguchi, A. Hashimoto, M. Shimojo, K. Mitsuishi
  • 学会等名: The 12th Frontiers of Electron Microscopy in Materials Science 2009
  • 発表場所: Nagasaki, Japan.
  • 年月日: 20090927-20091002