| 研究概要 |
薄膜用二軸引張試験装置を設計・開発し,ラマン分光器のステージに組み込んで,一軸・二軸引張負荷下における単結晶Siのマイクロ・ナノ構造体周辺のラマンスペクトルの計測を行った.その結果,一軸と二軸の引張負荷を加えた状態では,得られた構造体周辺のラマンシフトマップは異なり,構造体周辺には多軸応力場ができていることを視覚的にとらえることに成功した.また,得られたラマンスペクトルパラメータ(ピークシフト,強度,半値幅)と有限要素解析に基づく応力成分・大きさとを比較することで,各パラメータと応力とには相関があることを確認した.この技術により,マイクロ～ナノサイズの単結晶Si構造体の応力分布ならびに成分を,詳細に計測できる可能性があることがわかった.
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