機上測定を用いた超精密加工機の性能評価手法

2011 年度 研究成果報告書

• 研究課題/領域番号: 20760092
• 研究種目: 若手研究(B)
• 配分区分: 補助金
• 研究分野: 生産工学・加工学
• 研究機関: 独立行政法人理化学研究所
• 研究代表者: 森田 晋也 独立行政法人理化学研究所, 超精密加工技術開発チーム, 協力研究員 (30360655)
• 研究期間 (年度): 2008 – 2011
• キーワード: 機上測定 / 超精密加工機 / 超精密切削 / 回折格子 / 単結晶ダイヤモンド工具

研究概要

超高分散かつ高効率の回折格子の製作を目的として、機上測定を用いた超精密加工機の性能評価手法を開発した。回折格子溝の加工手法として、脆性材料加工用工具および加工法、マイクロ切削加工法、超精密バニシング加工法の開発を行った。回折格子基板形状を測定するレーザオートフォーカス式機上測定器による機上測定手法を開発した。加工機上で回折光のスポット測定を行うことを目的として、レーザ回折光分布機上測定法の開発を行い、溝形状の加工法による違いが加工機上で直接的に計測評価できることを実証した。

研究成果

• [雑誌論文] 超精密加工機上における回折格子の回折特性評価 (2012)
  • 著者名/発表者名: 森田晋也、山形豊
  • 雑誌名: 2012年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集 ページ: 507-508
• [雑誌論文] 超精密加工機による回折格子加工および評価 (2012)
  • 著者名/発表者名: 藤本アキラ、森田晋也、山形豊
  • 雑誌名: 2012年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集 ページ: 507-508
• [雑誌論文] 超精密加工機による回折格子のバニシング加工 (2011)
  • 著者名/発表者名: 藤本アキラ、森田晋也、山形豊
  • 雑誌名: 2011年度精密工学会春季大会学術講演会論文集 ページ: 859-860
• [学会発表] 長田パッチ光線追跡を用いた中性子ミラーのアライメント誤差評価手法 (2011)
  • 著者名/発表者名: 森田晋也、山形豊、古坂道弘
  • 学会等名: 日本光学会年次学術講演会(OPJ2011)
  • 発表場所: 大阪大学吹田キャンパス(大阪府吹田市)
  • 年月日: 2011-11-29
• [学会発表] 非接触機上計測システムの開発 (2011)
  • 著者名/発表者名: 広瀬一、三浦勝弘、塚本貴雄、山形豊、森田晋也、鈴木浩文
  • 学会等名: 2011年度砥粒加工学会学術講演会
  • 発表場所: 中部大学(愛知県春日井市)
  • 年月日: 2011-09-09
• [備考]
  • URL: http://vcad-hpsv.riken.jp/jp/research/outline/member/MA503/
• [備考]
  • URL: http://www.asi.riken.jp/jp/laboratories/divisions/atsd/ultra/index.html