強誘電体-極性半導体分極相互作用による量子細線の形成

2009 年度 研究成果報告書

• 研究課題/領域番号: 20760201
• 研究種目: 若手研究(B)
• 配分区分: 補助金
• 研究分野: 電子・電気材料工学
• 研究機関: 大阪府立大学
• 研究代表者: 吉村 武 大阪府立大学, 工学研究科, 准教授 (30405344)
• 研究期間 (年度): 2008 – 2009
• キーワード: 強誘電体薄膜 / 極性半導体 / 量子デバイス / 走査プローブ顕微鏡 / ドメイン / 分極

研究概要

同程度の自発分極を有する極性半導体と強誘電体の界面に対して,走査プローブ顕微鏡を用いて強誘電体層に微小な分極反転領域を形成することにより,物理的な加工を行わずに電気的に量子細線を形成することを目標として研究を行った.作製した試料に対してチャネル領域上で微小プローブを走査しながら電圧を印加したところ,微小プローブの位置に対応したドレイン電流の変化が確認され本研究で提案する素子の実現可能性を示すことができた.

研究成果

• [雑誌論文] Direct Piezoelectric Property of Mn-doped ZnO Epitaxial Films (2010)
  • 著者名/発表者名: T. Yoshimura, H. Sakiyama, T. Oshio, A. Ashida, N. Fujimura
  • 雑誌名: Japanese Journal of Applied Physics 49 ページ: 021501
  • 査読あり
• [雑誌論文] Analysis of carrier modulation in channel of ferroelectric-gate transistors having polar semiconductor (2010)
  • 著者名/発表者名: T. Fukushima, T. Yoshimura, K. Masuko, K. Maeda, A. Ashida, N. Fujimura
  • 雑誌名: Thin Solid Films 518 ページ: 3026-3029
  • 査読あり
• [学会発表] RMnO3/ZnOへテロ構造デバイスのチャネル伝導特性 (2010)
  • 著者名/発表者名: 山田裕明、福島匡泰、吉村武、藤村紀文
  • 学会等名: 平成21年度春季第57回応用物理学関係連合講演会
  • 発表場所: 愛知県春日井市
  • 年月日: 2010-03-19
• [学会発表] YMnO3/ZnOヘテロ構造における分極間相互作用を用いた新規なデバイスII (2009)
  • 著者名/発表者名: 坂本真哉、福島匡泰、吉村武、前田和弘、芦田淳、藤村紀文
  • 学会等名: 平成20年度春季第56回応用物理学関係連合講演会
  • 発表場所: 茨城県つくば市
  • 年月日: 2009-03-31
• [学会発表] YMnO3/ZnOヘテロ構造における分極間相互作用を用いた新規なナノデバイス (2008)
  • 著者名/発表者名: 坂本真哉、福島匡泰、吉村武、前田和弘、芦田淳、藤村紀文
  • 学会等名: 平成20年度秋季第69回応用物理学会学術講演会
  • 発表場所: 愛知県春日井市
  • 年月日: 20080931