ナノサイズ強誘電体の作製とその分極反転に関する研究

2009 年度 研究成果報告書

• 研究課題/領域番号: 20760202
• 研究種目: 若手研究(B)
• 配分区分: 補助金
• 研究分野: 電子・電気材料工学
• 研究機関: 兵庫県立大学
• 研究代表者: 藤澤 浩訓 兵庫県立大学, 大学院・工学研究科, 准教授 (30285340)
• 研究期間 (年度): 2008 – 2009
• キーワード: ナノサイズ強誘電体 / 極薄膜 / ナノロッド / ナノチューブ / ナノアイランド / 分極反転 / SNDM / SPM

研究概要

高品質なナノサイズ強誘電体(極薄膜,ナノアイランド,ナノロッド,ナノチューブ)を作製し,その物性,特に分極反転について調べた.従来は定量的な測定が困難であったPbTiO_3極薄膜やナノアイランドの自発分極の大きさを明らかにした.また,PbTiO_3ナノロッドやナノチューブが薄膜よりも大きな電界誘起歪みを示すことを明らかにした.

研究成果

• [雑誌論文] ナノ強誘電体の基礎物性-現状と将来展望- (2009)
  • 著者名/発表者名: 清水勝, 藤沢浩訓
  • 雑誌名: 応用物理 78 ページ: 955-960
  • 査読あり
• [雑誌論文] Synthesis of PbTiO3 Nanotubes by Metalorganic Chemical Vapor Deposition (2009)
  • 著者名/発表者名: H. Fujisawa, R. Kuri, S. Nakashima, M. Shimizu, Y. Kotaka, K. Honda
  • 雑誌名: Jpn. J. Appl. Phys. 48 ページ: 09KA05-1-4
  • 査読あり
• [雑誌論文] Size Dependence of Ferroelectric Properties of Epitaxial PbTiO3 Nanoislands on Pt/SrTiO3(100) (2009)
  • 著者名/発表者名: H. Fujisawa, Y. Seioh, Y. Hiki, M. Shimizu
  • 雑誌名: Trans. Mater. Res. Soc. Japan 34 ページ: 23-26
  • 査読あり
• [雑誌論文] PbTiO3- and Pb(Zr, Ti)O3-Covered ZnO Nanorods (2009)
  • 著者名/発表者名: H. Fujisawa, R. Kuri, M. Shimizu, Y. Kotaka, K. Honda
  • 雑誌名: Appl. Phys. Express 2 ページ: 055003
  • 査読あり
• [雑誌論文] MOCVD法によるPbTiO3ナノ島の作製とその強誘電性 (2008)
  • 著者名/発表者名: 藤沢浩訓, 清水勝
  • 雑誌名: 日本結晶学会誌 50 ページ: 276-281
  • 査読あり
• [雑誌論文] Epitaxial Growth and Ferroelectric Properties of PbTiO3 Nanoislands and Thin Films Grown on Single-Crystalline Pt Films (2008)
  • 著者名/発表者名: H. Fujisawa, Y. Seioh, M. Kume, M. Shimizu
  • 雑誌名: Jpn. J. Appl. Phys. 47 ページ: 7505-7509
  • 査読あり
• [学会発表] SrTiO3(001)傾斜基板上へのPbTiO3薄膜の作製 (2010)
  • 著者名/発表者名: 家根大彰, 長副亮, 比企透雄, 中嶋誠 二, 藤沢浩訓, 清水勝
  • 学会等名: 春季第57回応用物理学関係連合講演会講演予稿集
  • 発表場所: 東海大学
  • 年月日: 2010-03-18
• [学会発表] AFMによるPbTiO3薄膜及びナノ島の分極反転電流の測定(II) (2010)
  • 著者名/発表者名: 山田耕生, 清王義弘, 中嶋誠二, 藤沢浩 訓, 清水勝
  • 学会等名: 春季第57回応用物理学関係連合講演会講演予稿集
  • 発表場所: 東海大学
  • 年月日: 2010-03-17
• [学会発表] MOCVD法によるPZT/ZnO積層ナノロッドの作製(II) (2010)
  • 著者名/発表者名: 伊美泰徳, 久利龍平, 中嶋誠二, 藤沢浩 訓, 清水勝, 小高康稔, 本田耕一郎
  • 学会等名: 春季第57回応用物理学関係連合講演会講演予稿集
  • 発表場所: 東海大学
  • 年月日: 2010-03-17
• [学会発表] 原子間力顕微鏡によるPbTiO3薄膜の分極反転電流の測定 (2009)
  • 著者名/発表者名: 清王義弘, 長副亮, 中嶋誠二, 藤沢浩 訓, 清水勝
  • 学会等名: 第19回日本MRS学術シンポジウム
  • 発表場所: 横浜市開港記念会館
  • 年月日: 2009-12-08
• [学会発表] ZnOナノロッドチャネルを用いた強誘電体ゲートトランジスタ (2009)
  • 著者名/発表者名: 藤沢浩訓, 納多真輝, 久利龍平, 中嶋誠二, 清水勝
  • 学会等名: 第19回日本MRS学術シンポジウム
  • 発表場所: 横浜市開港記念会館
  • 年月日: 2009-12-07
• [学会発表] SrRuO3電極に挟まれたエピタキシャルPbTiO3薄膜の強誘電性 (2009)
  • 著者名/発表者名: 長副亮, 中嶋誠二, 藤沢浩訓, 清水勝, 小高康稔, 本田耕一郎
  • 学会等名: 第19回日本MRS学術シンポジウム
  • 発表場所: 横浜市開港記念会館
  • 年月日: 2009-12-07
• [学会発表] Fabrication and Piezoelectric Properties of PbTiO3 Nanorods and Nanotubes by MOCVD (2009)
  • 著者名/発表者名: M. Shimizu, R. Kuri, H. Fujisawa, S. Nakashima, Y. Kotaka, K. Honda
  • 学会等名: Abs. of Mater. Res. Soc. 2009 Fall Meeting
  • 発表場所: Boston, U.S.A.
  • 年月日: 2009-11-30
• [学会発表] エピタキシャルSrRuO3/PbTiO3/SrRuO3キャパシタの作製 (2009)
  • 著者名/発表者名: 長副亮, 中嶋誠二, 藤沢浩訓, 清水勝, 小高康稔, 本田耕一郎
  • 学会等名: 秋季第70回応用物理学会学術講演会講演予稿集
  • 発表場所: 富山大学
  • 年月日: 2009-09-11
• [学会発表] MOCVD法によるPbTiO3/ZnOナノロッドの作製 (2009)
  • 著者名/発表者名: 久利龍平, 中嶋誠二, 藤沢浩訓, 清水勝, 小高康稔, 本田耕一郎
  • 学会等名: 秋季第70回応用物理学会学術講演会講演予稿集
  • 発表場所: 富山大学
  • 年月日: 2009-09-10
• [学会発表] Fabrication of ferroelectric gate transistors with ZnO nanorods as a channel (2009)
  • 著者名/発表者名: H. Fujisawa, M. Noda, T. Nagaoka, M. Shimizu, Y. Kotaka, K. Honda
  • 学会等名: Abs. 12th Int. Meeting on Ferroelectricity and 18th IEEE Int. Symp. Applications of Ferroelectrics (IMF-ISAF-2009)
  • 発表場所: Xi'an, China
  • 年月日: 2009-08-25
• [学会発表] Piezoelectric properties of PbTiO3 nanotubes fabricated by MOCVD (2009)
  • 著者名/発表者名: M. Shimizu, R. Kuri, S. Yamane, H. Fujisawa, Y. Kotaka, K. Honda
  • 学会等名: Abs. 12th Int. Meeting on Ferroelectricity and 18th IEEE Int. Symp. Applications of Ferroelectrics (IMF-ISAF-2009)
  • 発表場所: Xi'an, China
  • 年月日: 2009-08-24
• [学会発表] MOCVD法によるPbTiO3ナノチューブの作製 (2009)
  • 著者名/発表者名: 久利龍平, 藤沢浩訓, 清水勝, 小高康稔, 本田耕一郎
  • 学会等名: 第26回強誘電体応用会議講演予稿集
  • 発表場所: コープイン京都
  • 年月日: 2009-05-28
• [学会発表] AFMによるPbTiO3薄膜及びナノ島の分極反転電流の測定 (2009)
  • 著者名/発表者名: 清王義弘, 瀧本遼介, 藤沢浩訓, 清水勝
  • 学会等名: 春季第56回応用物理学関係連合講演会講演予稿集
  • 発表場所: 筑波大学
  • 年月日: 2009-03-31
• [学会発表] SrTiO3(001)傾斜基板上に作製したPbTiO3薄膜の電気的特性 (2009)
  • 著者名/発表者名: 比企透雄, 藤沢浩訓, 清水勝
  • 学会等名: 春季第56回応用物理学関係連合講演会講演予稿集
  • 発表場所: 筑波大学
  • 年月日: 2009-03-31
• [学会発表] MOCVD法によるPbTiO3ナノチューブの作製 (2009)
  • 著者名/発表者名: 久利龍平, 藤沢浩訓, 清水勝
  • 学会等名: 春季第56回応用物理学関係連合講演会講演予稿集
  • 発表場所: 筑波大学
  • 年月日: 2009-03-31
• [学会発表] Thickness Dependence of Electrical Properties of PbTiO3 Thin Films (2008)
  • 著者名/発表者名: R. Sumii, H. Fujisawa, M. Shimizu
  • 学会等名: Abs. The Int. Union of Mat. Res. Soc. Int. Conference in Asia 2008 (IUMRS-ICA 2008)
  • 発表場所: Nagoya
  • 年月日: 2008-12-09
• [学会発表] Size Dependence of Ferroelectric Properties of Epitaxial PbTiO3 Nanoislands on Pt/SrTiO3(100) (2008)
  • 著者名/発表者名: H. Fujisawa, Y. Seioh, Y. Hiki, M. Shimizu
  • 学会等名: Abs. The Int. Union of Mat. Res. Soc. Int. Conference in Asia 2008 (IUMRS-ICA 2008)
  • 発表場所: Nagoya
  • 年月日: 2008-12-09
• [学会発表] Size Dependence of Crystal Structure and Piezo- and Ferroelectric Properties in PbTiO3 Nanoislands Fabricated on Pt/SrTiO3 (2008)
  • 著者名/発表者名: M. Shimizu, H. Fujisawa, Y. Kuroiwa, O. Sakata, J. Soon, S. Kimura, M. Osada
  • 学会等名: Abs. of Mater. Res. Soc. 2008 Fall Meeting
  • 発表場所: Boston, U.S.A.
  • 年月日: 2008-12-05
• [学会発表] MOCVD法によるZnOナノロッドの作製と強誘電体ナノロッドへの応用 (2008)
  • 著者名/発表者名: 久利龍平, 藤沢浩訓, 清水勝
  • 学会等名: 秋季第69回応用物理学会学術講演会講演予稿集
  • 発表場所: 中部大学
  • 年月日: 2008-09-04
• [学会発表] 「ナノサイズ強誘電体の物性-強誘電体極薄膜及びナノアイランドの物性-」, 応用電子物性分科会, 6. 1強誘電体薄膜, 9. 1誘電材料・誘電体共同企画「強誘電体360度エクスプローラ」 (2008)
  • 著者名/発表者名: 清水勝, 藤沢浩訓
  • 学会等名: 秋季第69回応用物理学会学術講演会講演予稿集
  • 発表場所: 中部大学
  • 年月日: 2008-09-04
• [学会発表] Pt薄膜の表面構造がPbTiO3(001)薄膜のドメイン構造に及ぼす影響 (2008)
  • 著者名/発表者名: 比企透雄, 藤沢浩訓, 清水勝
  • 学会等名: 秋季第69回応用物理学会学術講演会講演予稿集
  • 発表場所: 中部大学
  • 年月日: 2008-09-03
• [学会発表] PbTiO3極薄膜上へのスパッタ法によるエピタキシャルSrRuO3上部電極の作製 (2008)
  • 著者名/発表者名: 長副亮, 住井亮介, 藤沢浩訓, 清水勝, 小高康稔, 本田耕一郎
  • 学会等名: 秋季第69回応用物理学会学術講演会講演予稿集
  • 発表場所: 中部大学
  • 年月日: 2008-09-03
• [学会発表] 走査型非線形誘電率顕微鏡によるPbTiO3極薄膜の分極反転の観察 (2008)
  • 著者名/発表者名: 米谷匡司, 住井亮介, 藤沢浩訓, 清水勝
  • 学会等名: 秋季第69回応用物理学会学術講演会講演予稿集
  • 発表場所: 中部大学
  • 年月日: 2008-09-03
• [学会発表] 接触共振型圧電応答顕微鏡によるPbTiO3(001)ナノ島の観察 (2008)
  • 著者名/発表者名: 清王義弘, 藤沢浩訓, 清水勝
  • 学会等名: 秋季第69回応用物理学会学術講演会講演予稿集
  • 発表場所: 中部大学
  • 年月日: 2008-09-03
• [学会発表] Crystalline and ferroelectric properties of PbTiO3 nanoislands and ultrathin films grown by MOCVD (2008)
  • 著者名/発表者名: H. Fujisawa, M. Shimizu, K. Honda, Y. Kotaka, M. Osada, Y. Kuroiwa, O. Sakata, S. Kimura
  • 学会等名: Abs. The 7th Korea-Japan Conference on Ferroelectricity
  • 発表場所: Jeju
  • 年月日: 2008-08-07
• [学会発表] Observations of Domain Structure in PbTiO3 Ultrathin Films by Scanning Nonlinear Dielectric Microscopy (2008)
  • 著者名/発表者名: M. Yonetani, R. Sumii, H. Fujisawa, M. Shimizu
  • 学会等名: Abs. The 7th Korea-Japan Conference on Ferroelectricity
  • 発表場所: Jeju
  • 年月日: 2008-08-07
• [学会発表] Thickness Dependence of Remanent Polarization of PbTiO3 Thin Films Grown by MOCVD (2008)
  • 著者名/発表者名: R. Nagasoe, R. Sumii, H. Fujisawa, M. Shimizu
  • 学会等名: Abs. The 7th Korea-Japan Conference on Ferroelectricity
  • 発表場所: Jeju
  • 年月日: 2008-08-07
• [学会発表] Fabrication of ZnO Nanorods by MOCVD and Their Applications to Ferroelectric Nanorods (2008)
  • 著者名/発表者名: R. Kuri, H. Fujisawa, M. Shimizu
  • 学会等名: Abs. The 7th Korea-Japan Conference on Ferroelectricity
  • 発表場所: Jeju
  • 年月日: 2008-08-07
• [学会発表] Size Effects on Crystal Structure and Phase Transition Temperature in Epitaxial PbTiO3 Nanoislands on Pt/SrTiO3 (2008)
  • 著者名/発表者名: M. Shimizu, H. Fujisawa, M. Osada, Y. Kuroiwa, O. Sakata, J. Soon, S. Kimura
  • 学会等名: Abs. of Int. Symp. on Integr. Ferroelectr. (ISIF 2008)
  • 発表場所: Singapore
  • 年月日: 2008-06-11
• [学会発表] Epitaxial Growth and Ferroelectric Properties of PbTiO3 Thin Films on Coherent Pt Bottom Electrodes (2008)
  • 著者名/発表者名: H. Fujisawa, M. Kume, M. Shimizu
  • 学会等名: Abs. of Int. Symp. on Integr. Ferroelectr. (ISIF 2008)
  • 発表場所: Singapore
  • 年月日: 2008-06-11
• [学会発表] 単結晶Pt薄膜上へ作製したPbTiO3ナノ島及び薄膜の強誘電特性 (2008)
  • 著者名/発表者名: 藤沢浩訓, 久米正義, 清王義弘, 清水勝
  • 学会等名: 第25回強誘電体応用会議講演予稿集
  • 発表場所: コープイン京都
  • 年月日: 2008-05-29