直線集束ビーム超音波材料解析システムを用いた超低膨張ガラスのゼロCTE温度の評価

2009 年度 研究成果報告書

• 研究課題/領域番号: 20760261
• 研究種目: 若手研究(B)
• 配分区分: 補助金
• 研究分野: 計測工学
• 研究機関: 東北大学
• 研究代表者: 荒川 元孝 東北大学, 大学院・工学研究科, 助教 (00333865)
• 研究期間 (年度): 2008 – 2009
• キーワード: 計測工学 / 超音波計測工学

研究概要

TiO_2-SiO_2超低膨張ガラスの線膨張係数(CTE)がゼロとなる温度(ゼロCTE温度)は、TiO_2濃度のみでなく、仮想温度やOH濃度によっても変化する。直線集束ビーム超音波材料解析システムによりTiO_2-SiO_2超低膨張ガラスのゼロCTE温度を評価するための検量線、すなわちゼロCTE温度、TiO_2濃度、仮想温度、OH濃度と音響特性(漏洩弾性表面波速度、縦波音速、横波音速、密度)との間の関係を求めた。

研究成果

• [雑誌論文] Development of an ultrasonic system for super-precise measurement of zero-CTE temperature of EUVL-grade TiO2-SiO2- ultra-low-expansion glasses (2010)
  • 著者名/発表者名: J. Kushibiki, M. Arakawa, Y. Ohashi, T. Sannomiya, Y. Maruyama
  • 雑誌名: Proc. SPIE Vol.7636 ページ: 76362M-1-76362M-8
  • 査読あり
• [雑誌論文] Precise evaluation of zero-CTE temperature of EUVL-grade TiO2-SiO2 ultra-low-expansion glass using the line-focus-beam ultrasonic material characterization system (2010)
  • 著者名/発表者名: J. Kushibiki, M. Arakawa
  • 雑誌名: Proc. SPIE Vol.7271 ページ: 72713D-1-72713D-6
  • 査読あり
• [雑誌論文] Evaluation of synthetic silica glasses by the ultrasonic microspectroscopy technology (2009)
  • 著者名/発表者名: M. Arakawa, H. Shimamura, J. Kushibiki
  • 雑誌名: IEEE Ultrson. Symp. Proc. ページ: 1559-1562
• [学会発表] Development of an ultrasonic system for super-precise measurement of zero-CTE temperature of EUVL-grade TiO2-SiO2 ultra-low-expansion glasses (2010)
  • 著者名/発表者名: J. Kushibiki, M. Arakawa, Y. Ohashi, T. Sannomiya, Y. Maruyama
  • 学会等名: SPIE Advanced Lithography
  • 発表場所: サンノゼ, アメリカ
  • 年月日: 2010-02-24
• [学会発表] Precise evaluation of zero-CTE temperature of TiO2-SiO2 ultra-low-expansion glass using the line-focus-beam ultrasonic material characterization system (2009)
  • 著者名/発表者名: J. Kushibiki, M. Arakawa
  • 学会等名: IEEE Ultrasonics Symposium
  • 発表場所: ローマ, イタリア
  • 年月日: 2009-09-23
• [学会発表] Evaluation of synthetic silica glasses by the ultrasonic microspectroscopy technology (2009)
  • 著者名/発表者名: M. Arakawa, H. Shimamura, J. Kushibiki
  • 学会等名: IEEE Ultrasonics Symposium
  • 発表場所: ローマ, イタリア
  • 年月日: 2009-09-21
• [学会発表] Accurate evaluation of CTE characteristics of ultra-low-expansion glasses for optical frequency standards by the LFB-UMC system (2009)
  • 著者名/発表者名: J. Kushibiki, M. Arakawa
  • 学会等名: European Frequency and Time Forum International Frequency Control Symposium
  • 発表場所: ブサンソン, フランス
  • 年月日: 2009-04-23
• [学会発表] Precise evaluation of zero-CTE temperature of EUVL-grade TiO2-SiO2 ultra-low-expansion glass using the line-focus-beam ultrasonic material characterization system (2009)
  • 著者名/発表者名: J. Kushibiki, M. Arakawa
  • 学会等名: SPIE Advanced Lithography
  • 発表場所: サンノゼ, アメリカ
  • 年月日: 2009-02-26
• [学会発表] A super-precise evaluation method of zero-CTE temperature of EUVL-grade TiO2-SiO2 ultra-low-expansion glass using the LFB ultrasonic material characterization system (2008)
  • 著者名/発表者名: J. Kushibiki, M. Arakawa
  • 学会等名: 2008 International Symposium on Extreme Ultraviolet Lithography
  • 発表場所: レイクタホ, アメリ
  • 年月日: 2008-09-29
• [備考]
  • URL: http://www.ecei.tohoku.ac.jp/kushi/