研究課題
若手研究(B)
本研究では、次世代電子機器、機械機器の製作や原子分子制御に必要とされる精密位置センサの開発を行った。センサは回折格子の光回折現象を利用したセンシング原理であり、機構が簡単でありながら高い繰り返し精度を持っている。研究では、自動位置決め装置及び位置決め装置を改良した位置センサを開発した。XY軸の2軸変位センサ及びθ軸角度センサを製作し多軸自動センシングと制御を実現した。位置精度の標準偏差は、X軸0.07nm、Y軸0.23nmとなった。
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Proc.of SPIE Vol.7506
ページ: 750606-1-750606-8
Proc.of SPIE Vol.7509
ページ: 75090F-1-75090F-9
Proc.of SPIE Vol.7156
ページ: 71560C-1-71560C-6
