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2008 年度 実績報告書

環境対応型三次元マイクロアクチュエーターの試作

研究課題

研究課題/領域番号 20760484
研究機関北海道大学

研究代表者

菊地 竜也  北海道大学, 大学院・工学研究科, 助教 (60374584)

キーワードアルミニウム / アノード酸化 / アクチュエーター / マイクロマシン / レーザー加工 / 導電性高分子
研究概要

本研究においては、空気中で使用可能な環境対応型三次元マイクロアクチュエーターを作製するための基礎研究を行った。アノード酸化を施したアルミニウム試料にレーザー照射を行い、酸化皮膜を局部的に破壊・除去したのち、金めっきおよびピロールの電解重合を施した。試料を白金板と電気的に接続したのち、NaOH水溶液中に浸漬し、アルミニウム素地およびアノード酸化皮膜を溶解・除去することにより、金およびポリピロールの2層からなる三次元構造体を作製した。試料をドデシルベンゼンスルホン酸ナトリウム水溶液中に浸漬し、白金を対極、銀/塩化銀電極を参照電極としてサイクリックボルタモグラムを測定すると、アノードおよびカソード分極において電流ピークを示すとともに、ポリピロール中へのナトリウムイオンのドープ・脱ドープにより三次元構造体は屈曲し、アクチュエーターとして動作することがわかった。この構造体および金対極を、電解質イオンを含む寒天水溶液中に浸漬し、水溶液の濃度、温度、浸漬時間、および引き上げ速度を種々変化させ、試料表面に電解質膜の形成を試みた。引き上げ速度の低下とともに厚い電解質膜が析出できた。金/ポリピロール2層構造体を作用極、金を対極としてサイクリックボルタモグラムを測定すると、アノードおよびカソード分極により電流ピークを示し、ポリピロール中へのイオンのドープ・脱ドープが生じているものと推定されたが、構造体の屈曲は観察されなかった。これは、電解質膜の厚さによるものと考えられるため、比較的薄い電解質膜を形成することにより、空気中において動作可能な三次元マイクロアクチュエーターを実現できることが示唆された。

  • 研究成果

    (4件)

すべて 2009 2008

すべて 雑誌論文 (2件) 学会発表 (2件)

  • [雑誌論文] Micro-and Nano-Technologies Based on Anodizing of Aluminum-Comb ination of Laser Irradiation with Electrochemical Process2009

    • 著者名/発表者名
      Hideaki Takahashi, Masatoshi S akairi, and Tatsuya Kikuchi
    • 雑誌名

      Electrochemistry 77

      ページ: 30-43

  • [雑誌論文] アノード酸化とマイクロ・ナノテクノロジー2009

    • 著者名/発表者名
      高橋英明、坂入正敏、菊地竜也、Jha Himendra
    • 雑誌名

      表面技術 60

      ページ: 143-150

  • [学会発表] Au/ポリピロール/Au三層構造体の作製とアクチュエータへの応用2009

    • 著者名/発表者名
      上田晋吾、菊地竜也、坂入正敏、高橋英明
    • 学会等名
      化学系学協会北海道支部2009年冬季研究発表会
    • 発表場所
      北海道大学学術交流会館(札幌)
    • 年月日
      2009-02-04
  • [学会発表] 空気中において使用可能な三次元マイクロアクチュエータ作製の試み2008

    • 著者名/発表者名
      上田晋吾
    • 学会等名
      第118回表面技術協会講演大会
    • 発表場所
      近畿大学本部キャンパス(東大阪市)
    • 年月日
      2008-09-02

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公開日: 2010-06-11   更新日: 2016-04-21  

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