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2008 年度 実績報告書

インクジェット法を用いたカーボンナノチューブ透明電極の開発に関する研究

研究課題

研究課題/領域番号 20810006
研究機関東北大学

研究代表者

沖本 治哉  東北大学, 金属材料研究所, 産学官連携研究員 (20510168)

キーワードナノチューブ / 薄膜デバイス / インクジェット塗布 / 透明電極
研究概要

本研究では、インクジェット塗布法を用いてカーボンナノチューブ透明電極を作製することを目的とする。これは、近年、資源の枯渇が問題視されている透明導電膜材料であるITOの代替材料として高い導電性を有するカーボンナノチューブに着眼した研究である。さらに、高度に分離された金属性カーボンナノチューブと簡便な成膜技術であるインクジェット法を併用することで、汎用で優れた伝導性をもつ透明導電膜を達成することを最終目標とする。本年度は、CNT膜の精密な制御(特にCNTの膜密度の制御)に重点を置くとともに、その膜構造評価を原子間力顕微鏡・走査型電子顕微鏡で行なった。使用したカーボンナノチューブは、レーザー蒸発法・HiPco法・アーク放電法で作製されたものを使うとともに、密度勾配遠心法で分離された金属濃縮CNTも使用した。
結果として、CNT分散液を基板に塗布する際の滴下回数・滴下間隔で、膜密度を自在に制御する方法を確立した。いずれの方法もほぼ同様の膜制御が達成できた。また、分散液の作製条件(特に、分散に必要な超音波照射時間と単分散に必要な遠心処理の時間)を調整することで、長さ分布の異なる膜の作製を行なった。AFM測定の結果から、バンドルサイズについては、塗布回数に応じて徐々に増加するものの、ほぼ、最初の分散液の状態を反映する結果となった。さらに、伝導特性を評価した結果、膜密度に比例して導電性を変調させることに成功した。また、基板にUV/Ozon処理を施すことで、均一な膜の作製を行なった。来年度は、透過率と導電性の評価を行なっていく予定である。

  • 研究成果

    (13件)

すべて 2009 2008

すべて 雑誌論文 (3件) (うち査読あり 1件) 学会発表 (8件) 産業財産権 (2件)

  • [雑誌論文] Ink-Jet Printing of Carbon Nanotube Thin-Film Transistors on Flexible Plastic Substrates2009

    • 著者名/発表者名
      T. Takenobu.
    • 雑誌名

      Applied Physics Express 2

      ページ: 025005

    • 査読あり
  • [雑誌論文] インクジェット技術のカーボンナノチューブ薄膜トランジスタへの応用2009

    • 著者名/発表者名
      沖本治哉、竹延大志
    • 雑誌名

      月刊ディスプレイ 15

      ページ: 45-50

  • [雑誌論文] 印刷するCNT薄膜トランジスタを作製インクジェット法が適用可能高いオン・オフ比の実現にも成功2008

    • 著者名/発表者名
      沖本治哉、竹延大志
    • 雑誌名

      Semiconductor FPD World 27

      ページ: 104-106

  • [学会発表] Ink-jet printing of high-performance SWCNT film transistors2008

    • 著者名/発表者名
      Haruya Okimoto
    • 学会等名
      21nd International Microprocesses and Nanotechnology Conference
    • 発表場所
      福岡県福岡市
    • 年月日
      20081027-30
  • [学会発表] Ink-jet printing of metallic and semiconducting SWCNTs2008

    • 著者名/発表者名
      Haruya Okimoto
    • 学会等名
      IEEE Nanotechnology Materials and Devices Conference 2008
    • 発表場所
      京都市左京区
    • 年月日
      20081020-22
  • [学会発表] インクジェット塗布法を用いたカーボンナノチューブ薄膜の伝導特性2008

    • 著者名/発表者名
      沖本治哉
    • 学会等名
      第69回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      愛知県春日井市
    • 年月日
      20080902-05
  • [学会発表] Ink-jet printing of all SWCNT transistors2008

    • 著者名/発表者名
      沖本治哉
    • 学会等名
      第35回記念フラーレン・ナノチューブ総合シンポジウム
    • 発表場所
      東京目黒区
    • 年月日
      20080827-29
  • [学会発表] Ink-jet printing of metallic and semiconductive SWCNTs2008

    • 著者名/発表者名
      Haruya Okimoto
    • 学会等名
      International conference on the Science and Application of Nanotubes
    • 発表場所
      モンペリエ(フランス)
    • 年月日
      20080629-0704
  • [学会発表] インクジェット塗布法を用いたカーボンナノチューブ薄膜トランジスタの作製2008

    • 著者名/発表者名
      沖本治哉
    • 学会等名
      金属材料研究所第116回講演会
    • 発表場所
      仙台
    • 年月日
      2008-11-27
  • [学会発表] Ink-jet printing of high-performance SWNT filim transistors2008

    • 著者名/発表者名
      Haruya Okimoto
    • 学会等名
      The 5th Japan-Korea symposium on carbon nanotube
    • 発表場所
      釜山(韓国)
    • 年月日
      2008-11-11
  • [学会発表] インクジェット法を用いたカーボンナノチューブトランジスタ2008

    • 著者名/発表者名
      沖本治哉
    • 学会等名
      金属材料研究所第115回講演会
    • 発表場所
      仙台
    • 年月日
      2008-05-14
  • [産業財産権] 金属型・半導体型単層カーボンナノチューブを用いた半導体デバイス構築法の考案2008

    • 発明者名
      竹延大志, 沖本治哉, 岩佐義宏, 柳和宏, 宮田耕充, 片浦弘道, 藤井俊治郎
    • 権利者名
      産業技術総合研究所
    • 産業財産権番号
      特許権2008-164044
    • 出願年月日
      2008-06-24
  • [産業財産権] 薄膜トランジスタの製造方法、およびその製造方法により製造された薄膜トランジスタ2008

    • 発明者名
      竹延大志, 沖本治哉, 浅野武志
    • 権利者名
      ブラザー工業
    • 産業財産権番号
      特許権2008-166632
    • 出願年月日
      2008-06-25

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公開日: 2010-06-11   更新日: 2016-04-21  

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