インクジェット法を用いたカーボンナノチューブ透明電極の開発に関する研究

2009 年度 研究成果報告書

• 研究課題/領域番号: 20810006
• 研究種目: 若手研究(スタートアップ)
• 配分区分: 補助金
• 研究分野: ナノ材料・ナノバイオサイエンス
• 研究機関: 東北大学
• 研究代表者: 沖本 治哉 東北大学, 金属材料研究所, 産学官連携研究員 (20510168)
• 研究期間 (年度): 2008 – 2009
• キーワード: カーボンナノチューブ / 薄膜トランジスタ / インクジェット塗布

研究概要

本研究では、透明導電膜の代替材料としてのカーボンナノチューブ(以下CNT)の可能性、又印刷技術を利用したCNTデバイスの開発法の確立を目指し、インクジェット塗布法を利用したCNT透明電極に関する研究を行なった。インクジェット法によるCNT塗布技術を確立し、導電膜のみならず半導体膜の作製にも成功した。また、トランジスタの開発においては、完全なインクジェット塗布によるデバイス作製技術を確立した。

研究成果

• [雑誌論文] Tunable carbon nanotube thin-film transistors produced exclusively via inkjet printing (2010)
  • 著者名/発表者名: H. Okimoto, et al.
  • 雑誌名: Advanced Materials (印刷中)
  • 査読あり
• [雑誌論文] Low-voltage operation of ink-jet printed single-walled carbon nanotube thin film transistors (2010)
  • 著者名/発表者名: H. Okimoto, et al.
  • 雑誌名: Japanese journal of applied physics 49 ページ: 02BD09
  • 査読あり
• [雑誌論文] Ink-jet printing of a single-walled carbon nanotube thin film transistor (2009)
  • 著者名/発表者名: H. Okimoto, et al.
  • 雑誌名: Japanese Journal of Applied Physics 48 ページ: 06FF03
  • 査読あり
• [雑誌論文] Ink-jet printing of carbon nanotube thin-film transistors on dlexible plastic substrates (2009)
  • 著者名/発表者名: T. Takenobu, N. Miura, S. Y. Lu, H. Okimoto, T. Asano, M. Shiraishi, Y. Iwasa
  • 雑誌名: Appled Physics Express 2 ページ: 025005
  • 査読あり
• [雑誌論文] インクジェット技術のカーボンナノチューブ薄膜トランジスタへの応用 (2009)
  • 著者名/発表者名: 沖本治哉, 竹延大志
  • 雑誌名: 月刊ディスプレイ 15 ページ: 45
• [学会発表] Ink-jet Printing of nano-carbon materials (2009)
  • 著者名/発表者名: H. Okimoto, et al.
  • 学会等名: Tenth international conference on the Science and application of nanotube
  • 発表場所: 北京
  • 年月日: 20090621-20090702
• [学会発表] Fabrication of low-voltage SWCNT-thin film transistor using ink-jet printing (2009)
  • 著者名/発表者名: H. Okimoto, et al.
  • 学会等名: 22^<nd> International Microprocesses and Nanotechnology Conference
  • 発表場所: 札幌
  • 年月日: 2009-11-17
• [学会発表] Ink-jet printing of high-performance SWCNT film transistors (2008)
  • 著者名/発表者名: H. Okimoto, et al.
  • 学会等名: 21nd International Microprocesses and Nanotechnology Conference
  • 発表場所: 福岡
  • 年月日: 20081027-20081030
• [学会発表] Ink-jet printing of metallic and semiconducting SWCNTs (2008)
  • 著者名/発表者名: H. Okimoto, et al.
  • 学会等名: IEEE Nanotechnology Materials and Devices conference2008
  • 発表場所: 京都
  • 年月日: 20081020-20081022
• [学会発表] インクジェット塗布法を用いたカーボンナノチューブ薄膜の電導特性 (2008)
  • 著者名/発表者名: 沖本治哉, 他
  • 学会等名: 第69回応用物理学会学術講演会
  • 発表場所: 愛知
  • 年月日: 20080902-20080905
• [学会発表] Ink-jet printing of metallic and semiconductive SWCNTs (2008)
  • 著者名/発表者名: H. Okimoto, et al.
  • 学会等名: Ninth International conderence on the science and application of nanotube
  • 発表場所: モンペリエ (フランス)
  • 年月日: 20080629-20080704
• [学会発表] Ink-jet printing of all SWCNT transistors (2008)
  • 著者名/発表者名: 沖本治哉, 他
  • 学会等名: 第35回記念フラーレン・カーボンナノチューブ総合シンポジウム
  • 発表場所: 東京
  • 年月日: 2008-08-28
• [産業財産権] 導電性組成物およびその製造方法 (2009)
  • 発明者名: 小野泰一, 佐々木順彦, 竹延大志, 沖本治哉
  • 権利者名: アルプス電気株式会社
  • 産業財産権番号: 特許権特願2009-279069
  • 出願年月日: 2009-12-09
• [産業財産権] 薄膜トランジスタの製造方法、およびその製造方法により製造された薄膜トランジスタ (2009)
  • 発明者名: 竹延大志, 沖本治哉, 浅野武志
  • 権利者名: ブラザー工業
  • 産業財産権番号: 特許権特願2008-166632
  • 出願年月日: 2009-06-25
• [産業財産権] 金属型・半導体型単層カーボンナノチューブを用いた半導体デバイス構築法の考案 (2009)
  • 発明者名: 竹延大志, 沖本治哉, 岩佐義宏, 柳和宏, 宮田耕充, 片浦弘道, 藤井俊治郎
  • 権利者名: 産業技術総合研究所
  • 産業財産権番号: 特許権特願2008-164044
  • 出願年月日: 2009-06-24