| 研究課題/領域番号 |
20860012
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| 研究種目 |
若手研究(スタートアップ)
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 研究分野 |
構造・機能材料
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| 研究機関 | 東北大学 |
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研究代表者 |
横井 敦史 財団法人電気磁気材料研究所, 電磁気材料グループ, 研究員 (60513760)
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| 連携研究者 |
増本 博 東北大学, 学際科学国際高等研究センター, 教授 (50209459)
大沼 繁弘 財団法人電気磁気材料研究所, 電磁気材料グループ, 主席研究員 (50142633)
小林 伸聖 財団法人電気磁気材料研究所, 電磁気材料グループ, 主席研究員 (70205475)
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| 研究期間 (年度) |
2008 – 2009
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| キーワード | 誘電性 / 磁性 / スパッタ法 / 誘電率 / 誘電損失 / 電気抵抗 / 薄膜 |
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| 研究概要 |
本研究においてFe-Ti-O, Co-Hf-O及びCo-Y-O薄膜をスパッタリング法により作製し、新規の誘電性-磁性薄膜の可能性を明らかにするために、誘電性-磁性との相関性を検討した。Fe-Ti-O薄膜及びCo-Hf-O薄膜において誘電損失と磁化及び電気抵抗との相関性が得られた。すなわち、電気抵抗ρ=1.0×10^6～1.0×10^8(μΩcm)の領域において、酸化物系薄膜では最適な誘電性と磁性の複合機能が認められる材料開発の知見が得られた。得られた知見を基に、Y_2O_3-Co複合ターゲットを用いて、電気抵抗を制御しながら薄膜作製を行った結果、LCRメータにて100kHzの周波数で誘電率39及び誘電損失0.56の値が得られた。また、交番力磁力計(AGM)を用いて磁化を測定した結果、11kGの値を有し、誘電性-磁性の複合機能性を有する事が認められた。したがって、酸化物系誘電体薄膜材料において、電気抵抗の制御により、誘電性と磁性の複合機能領域の制御を可能とした。
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