2009 年度研究成果報告書

透過電子顕微鏡による有機電界効果トランジスタの構造解析と特性向上

研究課題

研究課題/領域番号	20860041
研究種目	若手研究(スタートアップ)
配分区分	補助金
研究分野	電子デバイス・電子機器
研究機関	名古屋大学
研究代表者	徳永智春名古屋大学, 大学院・工学研究科, 助教 (90467332)
研究期間 (年度)	2008 – 2009
キーワード	有機半導体 / 透過電子顕微鏡 / 試料加工法
研究概要	材料の局所領域の構造をナノスケールで明らかにすることが可能な透過電子顕微鏡により有機材料を観察するための条件を調査した.その結果,加速電圧200kV,照射電流密度2pA/cm^2の条件を用いて短時間のうちに観察する必要があることが判明した.また,有機半導体からなるデバイスの薄膜加工には機械加工が適していることが明らかになった.