| 研究課題/領域番号 |
20H00211
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| 研究種目 |
基盤研究(A)
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 応募区分 | 一般 |
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| 審査区分 |
中区分18:材料力学、生産工学、設計工学およびその関連分野
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| 研究機関 | 東北大学 |
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研究代表者 |
高 偉 東北大学, 工学研究科, 教授 (70270816)
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| 研究分担者 |
清水 裕樹 北海道大学, 工学研究院, 教授 (70606384)
松隈 啓 東北大学, 工学研究科, 准教授 (90728370)
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| 研究期間 (年度) |
2020-04-01 – 2024-03-31
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| 審査結果の所見の概要 |
本研究は、従来より検出精度が2桁高い10pm級の精密計測を目標に、新しい形状計測基盤の確立を狙う。具体的手法として、不等ピッチ絶対グリッド、および色収差レンズの分光作用を用いて、計測点の三次元XYZ軸の絶対位置情報を検出し、そのあとで光周波数スケールコムに次元変換しGPSで補正する。
サブナノメートル級の加工精度を検証するために、さらに超高精度な計測法を光コム光学に基づき開発する先進的な研究課題であり、挑戦的であるだけでなく、計測学への貢献度も高いと考えられる。
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