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2022 年度 研究成果報告書

集積化マイクロデバイスを用いたナノすきま潤滑の素過程の解明

研究課題

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研究課題/領域番号 20H00214
研究種目

基盤研究(A)

配分区分補助金
応募区分一般
審査区分 中区分18:材料力学、生産工学、設計工学およびその関連分野
研究機関名古屋大学

研究代表者

福澤 健二  名古屋大学, 工学研究科, 教授 (60324448)

研究分担者 伊藤 伸太郎  名古屋大学, 工学研究科, 准教授 (50377826)
東 直輝  名古屋大学, 工学研究科, 助教 (50823283)
研究期間 (年度) 2020-04-01 – 2023-03-31
キーワードナノトライボロジー / マイクロ流体デバイス
研究成果の概要

本研究では,平行平面しゅう動系を実現する,マイクロマシン技術を用いたしゅう動部・アクチュエータを集積化したマイクロ潤滑計測デバイス,ナノしゅう動すきまの測定を実現するエリプソメトリー顕微鏡によるすきま計測法,および蛍光一分子の運動を解析しナノしゅう動すきまの潤滑剤の流れ測定を実現する蛍光相関法という,新規な潤滑計測法を提案し,実際に計測系を構築し,原理的な可能性の確認に成功した.

自由記述の分野

ナノ計測,ナノトライボロジー

研究成果の学術的意義や社会的意義

今後の加工精度向上を生かした革新的な機械の実現のためには,ナノすきま潤滑技術は,さらに重要になると考えられる.本研究で提案・実証したマイクロ潤滑計測デバイス,エリプソメトリー顕微鏡,蛍光相関法をさらに発展させることで,ナノすきまでの流体潤滑の素過程解明のための有用な知見の取得が期待される.

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公開日: 2024-01-30  

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