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2022 年度 実績報告書

タンデム変調熱プラズマ高温反応場の時空間精緻制御と高純度ナノ材料の革新的量産技術

研究課題

研究課題/領域番号 20H00239
研究機関金沢大学

研究代表者

田中 康規  金沢大学, 電子情報通信学系, 教授 (90303263)

研究分担者 石島 達夫  金沢大学, 電子情報通信学系, 教授 (00324450)
瀬戸 章文  金沢大学, フロンティア工学系, 教授 (40344155)
中野 裕介  金沢大学, 電子情報通信学系, 助教 (60840668)
研究期間 (年度) 2020-04-01 – 2023-03-31
キーワード熱プラズマ / ナノ粒子 / 大量生成 / ナノ材料
研究実績の概要

本研究では,金沢大学にて独自開発した「原料間歇同期投入+変調熱プラズマ法」をさらに発展させ「タンデム型変調熱プラズマ法」を新開発し,これにより超高温変動反応場の安定維持と精緻な時空間制御の両立を実現させることを目的としている。さらにこの手法を用い機能性ナノ材料の大量生成法を試み,熱プラズマへの電力変調度,原料間歇投入位相,冷却ガス間歇導入による超高温・高密度ラジカル場の時空間的制御を行うとともに,それらのナノ粒子生成への寄与を実験的,数値解析的に検討している。この検討を通じて,次の実績を得た。
まず新導入した「新型RF電源によるタンデム型変調誘導熱プラズマMITP」を用いて,原料を導入してナノ粒子生成を行った。ここでは酸化物ナノ粒子TiO2,Siナノ粒子の大量生成実験を対象とした。まずタンデム型熱プラズマに原料を5-10 g/min以上で大量投入し,酸化物ナノ粒子生成を行った。生成粒子は,SEM, BET,分光光度計などにより粒径分布などを分析した。これによりTiO2ナノ粒子を880 g/hの大量生成を実現し,1kg/hに迫る大量生成に成功した。またSi原料導入時においてはSiナノ粒子生成として300 g/hの大量生成に成功した。Siナノ粒子生成のための電磁熱流体解析プログラムを構築し,それにより数値解析を行った。特にタンデム型変調熱プラズマにおいて,下段コイル電流の大きな振幅変調により熱プラズマの温度場が大きく変動し,それによりガス流の変動が生じることで生成蒸気の急冷が生じ,効率的なナノ粒子生成ができることが判明した。このガス流変動は,熱プラズマの温度変化による,プラズマ媒体の質量密度が大きく変化し,質量保存式を満たすようにガス流が生じることが判明した。このことは今後の変調熱プラズマによるナノ粒子生成の物理を考察する上で極めて重要な情報である。

現在までの達成度 (段落)

令和4年度が最終年度であるため、記入しない。

今後の研究の推進方策

令和4年度が最終年度であるため、記入しない。

  • 研究成果

    (10件)

すべて 2023 2022

すべて 雑誌論文 (3件) (うち査読あり 3件、 オープンアクセス 2件) 学会発表 (7件) (うち国際学会 7件、 招待講演 2件)

  • [雑誌論文] Feedstock feeding duration influence on silicon nanoparticle synthesis using tandem modulated induction thermal plasmas with intermittent feedstock feeding2023

    • 著者名/発表者名
      Nagase Yurina、Tanaka Yasunori、Nakano Yusuke、Ishijima Tatsuo、Watanabe Shu、Sueyasu Shiori、Nakamura Keitaro
    • 雑誌名

      Powder Technology

      巻: 414 ページ: 118071~118071

    • DOI

      10.1016/j.powtec.2022.118071

    • 査読あり / オープンアクセス
  • [雑誌論文] Influence of Time Duration of Intermittent Feedstock Feeding on Si Nanoparticle Synthesis in Modulated Thermal Plasmas2022

    • 著者名/発表者名
      Nagase Yurina、Furukawa Ryudai、Tanaka Yasunori、Nakano Yusuke、Ishijima Tatsuo、Sueyasu Shiori、Watanabe Shu、Nakamura Keitaro
    • 雑誌名

      IEEJ Transactions on Fundamentals and Materials

      巻: 142 ページ: 451~460

    • DOI

      10.1541/ieejfms.142.451

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Comparative Study of Influence of Simultaneous Modulation of Upper-Coil and Lower-Coil Currents on Silicon Nanoparticles Synthesized Using Tandem-Type Modulated Induction Thermal Plasmas2022

    • 著者名/発表者名
      Furukawa Ryudai、Tanaka Yasunori、Nagase Y.、Nakano Y.、Ishijima T.、Sueyasu S.、Watanabe S.、Nakamura K.
    • 雑誌名

      Plasma Chemistry and Plasma Processing

      巻: 42 ページ: 435~463

    • DOI

      10.1007/s11090-022-10230-w

    • 査読あり / オープンアクセス
  • [学会発表] Measurement of Feedstock Particle Motion in Modulated Thermal Plasmas during Nanoparticle Synthesis2023

    • 著者名/発表者名
      Yasunori Tanaka1*, Ryudai Furukawa, Yurina Nagase, Yusuke Nakano, Tatsuo Ishijima, Shiori Sueyasu, Shu Watanabe, Keitaro Nakamura
    • 学会等名
      ISPlasma2023/IC-PLANTS2023, 06P-P1-13, 2023.3, Gifu, Japan
    • 国際学会
  • [学会発表] High Production Rate Synthesis of ZnO Nanomaterials using Tandem Modulated Induction Thermal Plasmas2022

    • 著者名/発表者名
      Yurina Nagase, Yasunori Tanaka, Yusuke Nakano, Tatsuo Ishijima, Shiori Sueyasu, Shu Watanabe, Keitaro Nakamura
    • 学会等名
      32th Annual Meeting of Material Research Society of Japan (MRS-J), 2022.12, Yokohama, Japan
    • 国際学会
  • [学会発表] High-Throughput Nanoparticle Synthesis and Size Control by Tandem-Coil Modulated Induction Thermal Plasmas with Different Modulation Waveforms2022

    • 著者名/発表者名
      Y.Tanaka
    • 学会等名
      Int.Congress Plasma Physics (ICPP2022), Th3C-3, 2022.11 (S.Korea)
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] Coagulation and Condensation Rates in Si Nanoparticle Growth at Different Feeding Durations of Feedstock Using Tandem Modulated Induction Thermal Plasmas2022

    • 著者名/発表者名
      Yurina Nagase, Yasunori Tanaka, Yusuke Nakano, Tatsuo Ishijima, Shiori Sueyasu, Shu Watanabe, Keitaro Nakamura
    • 学会等名
      The 75th Annual Gaseous Electronics Conference/11th Int. Conf. Reactive Plasma (GEC/ICRP-11), GT2.00004, 2022.10, Sendai, Japan
    • 国際学会
  • [学会発表] Numerical Study on Modulation Induced Entrainment Gas Flow and its Promotion of Nanopowder Synthesis in Pulse-Modulated Induction Thermal Plasmas2022

    • 著者名/発表者名
      Yasunori Tanaka, Ryudai Furukawa, Yurina Nagase, Yusuke Nakano, Tatsuo Ishijima, Shiori Sueyasu, Shu Watanabe, Keitaro Nakamura
    • 学会等名
      The 75th Annual Gaseous Electronics Conference/11th Int. Conf. Reactive Plasma (GEC/ICRP-11), ET1.00001, 2022.10, Sendai, Japan
    • 国際学会
  • [学会発表] Development of a unified numerical model on large-amount nanoparticle formation by tandem-type modulated induction thermal plasmas with intermittent feedstock feeding2022

    • 著者名/発表者名
      Yasunori Tanaka, R. Furukawa, Y. Nagase, Y. Nakano,T. Ishijima, S. Sueyasu, S. Watanabe, K. Nakamura
    • 学会等名
      11th Int.Symp. Plasma Nanoscience (iPlasmaNano XI),Spain (online)2022.9
    • 国際学会
  • [学会発表] Modulated induction thermal plasma for synthesis of large amounts of functional nanoparticles2022

    • 著者名/発表者名
      Y. Tanaka
    • 学会等名
      15th Asia-Pacific Physics Conference (APPC15), South Korea (online) ,2022.8
    • 国際学会 / 招待講演

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公開日: 2023-12-25  

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