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2020 年度 実績報告書

質量標準トレーサビリティ体系のための超高精度・広範囲なシリコン球体計測

研究課題

研究課題/領域番号 20H02040
研究機関東京大学

研究代表者

道畑 正岐  東京大学, 大学院工学系研究科(工学部), 准教授 (70588855)

研究分担者 高橋 哲  東京大学, 先端科学技術研究センター, 教授 (30283724)
門屋 祥太郎  東京大学, 先端科学技術研究センター, 助教 (60880234)
研究期間 (年度) 2020-04-01 – 2023-03-31
キーワードWhispering gallery mode / 近接場 / SNOM / 有限要素解析
研究実績の概要

本研究の目的はWhispering gallery mode共振を用いて球体の直径を推定する技術の確立である。光共振を用いて球体直径を高精度に測定するためには、共振波長の測定に加え、その波長のモードを正確に推定する必要がある。これまでの研究で、推定手法は提案してきたもののその推定精度を正確に評価することは困難であった。そこで、Whispering gallery mode共振によって形成される電場の分布を直接計測することでモードの状態の測定を目指している。電場分布の測定には走査型の近接場プローブ(SNOMプローブ)を用いることを予定している。従来の近接場の測定とは異なり、共振器の電場を測定する場合、プローブによるインタラクションが共振状態を変化させてしまうため注意が必要である。そのため、まずは最適なプローブ形状について検討を行い、その後、そのプローブを試作の上、電場分布の測定を実施予定であった。本年は、有限要素解析によってプローブについて検討を行った。その結果、従来のようなナノスケールの先端先鋭なプローブは相互作用は小さいものの、その分計測可能な信号のSNが低すぎることが明らかとなった。一方で、形成される電場の波長に一致するサイズの先端径をもつSNOMプローブを用いることで計測精度は確保したまま、SNを向上させることができるとことが示唆された。また、興味深いことに、これらのプローブで測定する原理自体が異なり、計測中のモードシフトの観点からは共振波長に一致したサイズのプローブを用いることでより安定した計測が可能であることが示唆された。この結果をもとに以後、実際に計測行うことを予定している。

現在までの達成度 (区分)
現在までの達成度 (区分)

3: やや遅れている

理由

本来の計画では、SNOMプローブを設計し、試作の上、電場の計測を実施する予定であったが、社会情勢による制約で実験実施が困難であったため、SNOMプローブの設計に留まっている。今度は、これを用いた実際の計測を目指している。

今後の研究の推進方策

今後は実際にプローブを試作し、電場分布の計測を行う。0.5μm程度の先端径を持つプローブの作成を目指すため、ガラスプローブの溶融延伸による方法とエッチングによる方法を比較し、より良いプローブ作成方法を検討する。その度、プローブを用いて球体にWhispering gallery modeを励起し、球体の表面をプローブ走査することで電場の分布を計測する。

  • 研究成果

    (7件)

すべて 2021 2020 その他

すべて 雑誌論文 (1件) (うち査読あり 1件、 オープンアクセス 1件) 学会発表 (5件) 備考 (1件)

  • [雑誌論文] In-Process Diameter Measurement Technique for Micro-Optical Fiber with Standing Wave Illumination2021

    • 著者名/発表者名
      Michihata Masaki、Zheng Zhao、Funaiwa Daiki、Murakami Sojiro、Kadoya Shotaro、Takahashi Satoru
    • 雑誌名

      Nanomanufacturing and Metrology

      巻: 4 ページ: 28~36

    • DOI

      10.1007/s41871-020-00081-4

    • 査読あり / オープンアクセス
  • [学会発表] ファブリーペロー共振器を用いたマイクロCMMのプローブ径補正用ゲージの研究(第1報) -二平面間の距離測定-2021

    • 著者名/発表者名
      加藤千聖,門屋祥太郎,道畑正岐,高橋 哲
    • 学会等名
      2021年度精密工学会学術講演会春季大会
  • [学会発表] 半導体レーザと外部共振器機構を用いた高精度長さ計測(第1報) -計測手法提案-”2021

    • 著者名/発表者名
      合田周平,門屋祥太郎,道畑正岐,高橋 哲
    • 学会等名
      2021年度精密工学会学術講演会春季大会
  • [学会発表] 定在波照明を用いたマイクロ光ファイバのインプロセス直径計測(第3報) -サブマイクロ光ファイバの計測のための測定原理の拡張-2021

    • 著者名/発表者名
      村上宗二朗,門屋祥太郎,道畑正岐,高橋 哲
    • 学会等名
      2021年度精密工学会学術講演会春季大会
  • [学会発表] WGM共振を利用した微小級の直径計測(第14報) -WGM光強度分布センシングのためのガラスプローブ先端形状の検討-2021

    • 著者名/発表者名
      劉 羽辛,門屋祥太郎,道畑正岐,高橋 哲
    • 学会等名
      2021年度精密工学会学術講演会春季大会
  • [学会発表] WGM共振を利用した微小球の直径計測(第13報) -光損失が共振波長に及ぼす影響の検討-2020

    • 著者名/発表者名
      劉 羽辛,門屋祥太郎,道畑正岐,高増 潔,高橋 哲
    • 学会等名
      2020年度精密工学会学術講演会秋季大会
  • [備考] 個人HP

    • URL

      https://masakimichihata.weebly.com

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公開日: 2022-12-28  

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