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2022 年度 実績報告書

シリコンを含む磁性接合におけるスピン伝導物理の解明と制御

研究課題

研究課題/領域番号 20H02199
研究機関東京大学

研究代表者

中根 了昌  東京大学, 大学院工学系研究科(工学部), 特任准教授 (50422332)

研究期間 (年度) 2020-04-01 – 2023-03-31
キーワードスピントロニクス / 電子デバイス
研究実績の概要

本研究では、その応用に極めて有望なデバイスであるスピン偏極電子を用いたシリコンベーススピントランジスタの開発を最終目標とする。この開発のためには「高効率なスピン偏極電子の注入・検出源のシリコン上への創製」が必要であり、その基盤となる「シリコン二次元反転チャネル中でのスピン伝導物理の解明と制御」「スピン伝導物理の定量的な解明とスピン注入・検出源の技術開発」を行う。
本年度は、「スピン伝導物理の定量的な解明とスピン注入・検出源の技術開発」を中心に行った。スピン注入検出源としてn+-Si基板上の磁気トンネル接合を用い、薄層トンネル障壁層として窒化物と酸化物の中から様々な材料を作製した。特に、超低接合抵抗で高いスピン偏極電子を生成するトンネル接合を目指し、1nm未満での膜厚を中心に、スピン偏極率の膜厚依存性を解析することとした。それらのトンネル障壁層上にMgとFeを作製し、デバイス形状に加工して、様々な定バイアス電流を印加しながら3端子法でスピン注入信号(ハンル信号)を測定した。取得した信号を理論式でフィッティングすることで、Si中電子のスピン偏極率を見積もった。
電流-電圧特性から、従来の接合抵抗の約1/10まで作製に成功したことを明らかとした。また、従来のスピン注入信号は、電子流がSiからFeの方向である場合しか検出されなかったが、接合抵抗が下がるにつれて、電子流がFeからSiの方向の場合にも同程度の信号が検出された。電子のスピン偏極率は、どちらの電子流方向においても、電流値が大きくなるほど(接合電圧低下が大きいほど)小さくなった。また、接合抵抗が低下するに従い、スピン偏極率が低下した。これらの特徴がトンネル障壁層に用いた材料に関わらず得られたため、低接合抵抗におけるスピン注入物理の本質的な特性であることを示唆している。これは、本研究によってはじめて明らかとされた。

現在までの達成度 (段落)

令和4年度が最終年度であるため、記入しない。

今後の研究の推進方策

令和4年度が最終年度であるため、記入しない。

  • 研究成果

    (5件)

すべて 2023 2022

すべて 雑誌論文 (1件) (うち査読あり 1件) 学会発表 (4件) (うち国際学会 1件)

  • [雑誌論文] Electron Spin Transport in a Metal-Oxide-Semiconductor Si Two-Dimensional Inversion Channel: Effect of Hydrogen Annealing on Spin-Scattering Mechanism and Spin Lifetime2022

    • 著者名/発表者名
      Shoichi Sato, Masaaki Tanaka, and Ryosho Nakane
    • 雑誌名

      Physical Review Applied

      巻: 18 ページ: 064071/1-11

    • DOI

      10.1103/PhysRevApplied.18.064071

    • 査読あり
  • [学会発表] Spin polarization and magnetoresistance in a back-gated spin MOSFET structure with Fe/Mg/MgO/SiOx/n+-Si junctions2023

    • 著者名/発表者名
      Shoichi Sato, Masaaki Tanaka and Ryosho Nakane
    • 学会等名
      第70回応用物理学会春季学術講演会
  • [学会発表] Generation of spin-polarized electrons in n + -Si by spin injection through a ferromagnetic tunnel junction: Role of the band diagram2022

    • 著者名/発表者名
      Baisen Yu, Shoichi Sato, Masaaki Tanaka, and Ryosho Nakane
    • 学会等名
      2022 International Conference on Solid State Devices and Materials
    • 国際学会
  • [学会発表] Electron spin polarization in a n+-Si channel: Analysis with the band diagram in ferromagnetic Fe/Mg/amorphous-MgO/SiO X /n+-Si(001) tunnel junctions2022

    • 著者名/発表者名
      Baisen Yu, Shoichi Sato, Masaaki Tanaka and Ryosho Nakane
    • 学会等名
      第69回応用物理学会春季学術講演会
  • [学会発表] 低接合抵抗を持つFe/Mg/SiN/n+-Si(001)磁性トンネル接合の作製とSiへのスピン注入2022

    • 著者名/発表者名
      赤木巌、佐藤彰一、田中雅明、中根了昌
    • 学会等名
      第83回応用物理学会秋季学術講演会

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公開日: 2023-12-25  

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