本研究では,ナノ電子デバイスの熱制御技術により集積化された各センサデバイスで異なる分子種を検出し,同一材料・構造の集積化センサアレイデバイスによる多種分子群の識別を目的として,(1) 1000個以上の酸化物分子センサデバイスの1チップ集積化と分子検出動作,(2) 集積化酸化物分子センサデバイスのナノ熱制御による分子群の識別,に取り組んだ.その結果,横型チャネル構造の採用により1024個の酸化物センサデバイスの1チップ集積化と高信頼動作を実現した.また,時空間熱制御技術によりヒトの尿を模擬した溶液の計測を行い,生体ガス識別の原理実証に成功した.
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