| 研究課題/領域番号 |
20H02644
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| 研究種目 |
基盤研究(B)
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 応募区分 | 一般 |
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| 審査区分 |
小区分30010:結晶工学関連
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| 研究機関 | 公益財団法人高輝度光科学研究センター |
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研究代表者 |
木村 滋 公益財団法人高輝度光科学研究センター, 回折・散乱推進室, 主席研究員 (50360821)
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| 研究分担者 |
隅谷 和嗣 公益財団法人高輝度光科学研究センター, 回折・散乱推進室, 研究員 (10416381)
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| 研究期間 (年度) |
2020-04-01 – 2023-03-31
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| キーワード | 屈折レンズ / 放射光 / ナノビーム / InGaN / 多重量子井戸 |
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| 研究成果の概要 |
本研究は、放射光高分解能ナノビームX線回折システムを、35 keV以上の高エネルギーX線で利用できるようにし、局所逆空間マップの実空間マッピングとIn蛍光X線マッピングの同時測定を可能にするシステムを構築すること、更にそのシステムを利用し有効性を実証することを目的に行った。Si製屈折レンズを新規に作成し、ビームサイズ、590 nm（水平方向）× 320 nm（垂直方向）を実現し、システムを構築することができた。しかしながら、屈折レンズの開発に時間がかかり、(1-100)面InGaN/GaN多重量子井戸構造の格子緩和とIn組成ゆらぎの相関関係を解明することは出来なかった。
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| 自由記述の分野 |
結晶評価
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| 研究成果の学術的意義や社会的意義 |
Si-MEMS技術は日本が世界的に進んでいる技術であり，この技術で世界に先駆けて深さ100 μmの屈折レンズを作製し、サブミクロン集光が実現できたことは，本研究で提案したナノビーム回折と蛍光X線マッピングの同時測定だけでなく、高エネルギーX線用集光素子として、さまざまな材料評価に威力を発揮すると期待でき、その波及効果は、学術的にも社会的にも大きい成功である。
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