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2022年度は、SrTiO3(STO)単結晶基板上に水溶性の中間層Ba3Al2O6 (BAO)のエピ膜を作製し、その上にYBCO膜がエピタキシャル成長する成膜条件を明らかにした。また、YBCO/BAO/STO試料からYBCO層のみを剥離する検討を行った。結果として、再現性良くYBCOを剥離することができなかった。
この原因として、(i) YBCOとBAOが界面で反応し、非水溶性層が生成した、(ii) YBCOのエピ成長条件にさらされるとBAOが水溶性を失う、ことなどが考えられる。2023年度はこれらについて検証を行った。実験方法として、BAO直接YBCOと接触することを防ぐために、LaAlO3 (LAO)層を挟んだYBCO/LAO/BAO/STO試料を作製し、剥離実験を行った。結果として、LAO層を挟んでも剥離性の向上は見られなかった。それ以上に、この積層構造ではYBCOのエピタキシャル成長も見られなかった。比較のために、LAO/BAO/STO試料の剥離実験を行ったところ、問題無く剥離出来たことから、LAO/BAO界面での非水溶性層の生成などは無いと考えられる。
以上から、YBCO層が再現性良く剥離出来ない原因は、(ii)BAO層がYBCOのエピ成長条件にさらされると水溶性を失う、ことが主因である可能性が高いことがわかった。
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