| 研究課題/領域番号 |
20K03916
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| 研究種目 |
基盤研究(C)
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| 配分区分 | 基金 |
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| 応募区分 | 一般 |
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| 審査区分 |
小区分14030:プラズマ応用科学関連
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| 研究機関 | 静岡大学 |
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研究代表者 |
奥谷 昌之 静岡大学, 工学部, 准教授 (00293605)
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| 研究期間 (年度) |
2020-04-01 – 2023-03-31
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| キーワード | 非平衡平面プラズマ / 液中プラズマ / 誘電体バリア放電 / 色素増感太陽電池 / 酸化チタン / 酸化スズ |
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| 研究成果の概要 |
本研究で独自に開発した製膜技術は、平板状の放電用電極と製膜用基板の間に前駆体溶液を毛細管現象で注入後、電極に高バイアスを印加して局所的に微小空洞を形成し、この空洞に閉じ込めた平面プラズマを前駆体へ照射する手法である。
本研究では市販のレジストを利用した微細な金属グリッド上に誘電体板を設置し、その面内にバイアスを印加する新方式を採用する。これにより、液中におけるプラズマ発生領域の空間的安定性、およびナノレベルでの微細制御が確保される。さらに、この手法をダイレクトパターニング製膜へ展開するとともに、新エネルギー源として期待されている色素増感太陽電池に対する実用的技術へと進展させる。
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| 自由記述の分野 |
プラズマ科学
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| 研究成果の学術的意義や社会的意義 |
従来型の放電方式に比べ、グリッドの微細化やデザイン性が増し、結果的にプラズマ発生領域のナノメーターオーダーでの制御が可能になる。この手法にプラズマの３次元的空間分布制御や、電極のスキャニング技術を組み込むことにより、ドット状やライン状のダイレクトパターニング製膜への展開が可能であり、将来は３次元の対象物表面に膜を『描く』技術への進展も期待される。
本製膜技術は、比較的手軽な技術でありながら、研究の成果を既存のプラズマディスプレイ技術と融合させ、さらにプラズマの空間分布状態の微細制御技術が加われば、将来的に微細加工から大面積製膜まで幅広い応用の利く革新的製膜技術へ発展することが期待される。
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