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本研究では、砥粒均質化法を研究・実施した。この方法は、超音波振動による円筒形キャビティ内の音響流の生成に基づくものである。この方法は、ワークピースに衝突するナノブラストノズルに、バラバラになった砥粒を噴射する前に適用することができます。
実験では、一次粒子径が2μm以上の粒子の凝集を良好に解砕できることを確認した。2μmより小さい粒子の場合、一部の凝集体が残りました。
このプロセスにより、粒子堆積と材料除去の境界付近の条件で、表面のブラスト加工ができることが示された。2μmの砥粒をガラス加工に用いた場合、ほとんどの加工条件において、超音波振動を加えると表面粗さが顕著に小さくなることがわかりました。
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