本研究は,液体窒素中で放電を発生させる表面窒化法をアルミニウムに適用し,窒化アルミニウム皮膜形成における低温液体中放電プラズマの効果について検討した。また,生成した窒化アルミニウムの微細構造について調査し,皮膜傾斜構造化の可能性について検討した。液体窒素中放電時の基材温度を計測するとともに,窒化アルミニウムの生成に及ぼす極性の影響を明らかにした。また,生成した窒化アルミニウム微細構造を明らかにした。本法における窒素励起種を特定することには成功したが,液体温度と皮膜構造との明確な関係を見出すことはできなかった。
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