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ナノメートルスケールで異種の遷移金属窒化層を交互に堆積させる多層薄膜材料をプラズマをベースにしたイオン材料プロセスにより作製した。作製した窒化クロム/窒化バナジウム多層膜は各単層膜より高い硬度（23.5 GPa）を有しており、また、窒化バナジウム層の挿入が圧縮応力の抑制ならびに摩擦係数の低減化を実現する上で重要な役割を果たすことを明らかにした。作製した窒化クロム／窒化チタン多層膜もまた高い硬度（24.5GPa）を有し、また、窒化チタン層の挿入により多層膜の摩擦係数は0.7から0.2-0.3まで低減可能であることを示すことができた。
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