研究課題
基盤研究(C)
本研究では，薄膜結晶状の酸化物半導体ガスセンサを用い，VOCに対し1 ppbのガス感度を達成することを目的とした。まず，高感度なセンサ膜を得るための成膜を実現できる真空装置の設計，作製を行った。それに続き，センサに適した半導体の電気的特性を得るための膜厚依存性の検討および，酸素補償プロセスの検討を行い，提案手法による感度向上が確認された。
センサ工学
本研究の成果は，ガスセンサの医療応用の際に求められる高感度化手法の一つである。本研究成果のみで社会の需要に応えることが不可能でも，これまでの様々な研究者の知見と複合させ，目的を達成することが可能である。またこの研究成果は，酸化物半導体の製造，物性などの研究分野へと還元され得るものである。
