| 研究課題/領域番号 |
20K04518
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| 研究機関 | 山梨大学 |
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研究代表者 |
金 蓮花 山梨大学, 大学院総合研究部, 准教授 (40384656)
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| 研究分担者 |
近藤 英一 山梨大学, 大学院総合研究部, 教授 (70304871)
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| 研究期間 (年度) |
2020-04-01 – 2023-03-31
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| キーワード | ミューラー行列 / 顕微鏡 / 解像度 |
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| 研究実績の概要 |
本研究では，非接触で微細構造と材料物性を同時に観察評価できる“斜め照射・斜め観測”用「ミューラー行列顕微鏡」の創製を目標としている．
そこで，令和２年度の主な研究は，ダブル球面鏡を用いた結像系を製作し，高解像度・収差ゼロのイメージング光学系を実現した．本研究のイメージング光学系の分解能は従来の２倍程向上した．
同時にエリプソメトリー顕微鏡の概念を提案し，その顕微鏡におけるエリプソメトリー解像度を理論的に導いた．エリプソメトリー顕微鏡を用いたエリプソメトリー計測では，その分解能が従来の分解能理論（例えば回折限界により定義されたレイリー基準）値に比べ、劣る．本理論は，エリプソメトリー顕微鏡のみならず，様々な計測用顕微鏡の解像度評価に役立つだろう．
研究成果については，学術雑誌への論文投稿・掲載および国際・国内会議で発表を行った．
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| 現在までの達成度 (区分) |
現在までの達成度 (区分)
2: おおむね順調に進展している
理由
令和2年度は，ミューラー行列顕微鏡装置の光学系開発を主な目標とした．これまで以下の成果を得た．
（１）従来光学系の分解能を上回る歪無・焦点ボケ無のイメージング光学系を開発した．
（２）顕微鏡を計測に利用する際の空間分解能について理論的に導いた．
（３）顕微鏡画像処理に深層学習の導入を検討した．
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| 今後の研究の推進方策 |
令和３年度では，ミューラー行列顕微鏡装置の完成させ、主にミューラー行列指紋の取得および解析ツールを開発を行う．
これらの結果に基づき，研究成果の発表を行う．
また、解析ツールに深層学習を導入する予定ある．
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