| 研究課題/領域番号 |
20K04518
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| 研究機関 | 山梨大学 |
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研究代表者 |
金 蓮花 山梨大学, 大学院総合研究部, 教授 (40384656)
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| 研究分担者 |
近藤 英一 山梨大学, 大学院総合研究部, 教授 (70304871)
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| 研究期間 (年度) |
2020-04-01 – 2023-03-31
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| キーワード | エリプソメトリー顕微鏡 / 反射・透過モード計測 |
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| 研究実績の概要 |
本研究の目標は、物体の微細構造と材料特性を同時に観察・評価できる「ミューラー行列エリプソメトリー顕微鏡」の創製である。令和３年度では、昨年度の顕微鏡のハードウェア設計を続けて完成させるとともに、新たなデータ解析方法の提案と検証を行った。
エリプソメトリーデータ解析では、一般に計測データの分光情報を必要とする。しかし、エリプソメトリー顕微鏡は、光学フィルターを用いた波長走査法により分光計測を行うため、点計測用エリプソメータより、計測時間が長い。そこで、単波長でのデータ解析方法を提案することにより、全体の計測・解析時間の短縮を図った。令和３年度では、提案の有効性を検証するために、透過・反射モードでの顕微鏡計測を可能とし、実際の測定及びデータ解析を行った。実験結果により、提案方法の有効性の証明と同時に新たな問題点の発見があった。本研究成果について、学術雑誌への論文投稿・掲載および国際・国内会議での発表を行った．
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| 現在までの達成度 (区分) |
現在までの達成度 (区分)
2: おおむね順調に進展している
理由
令和３年度は，ミューラー行列エリプソメトリー顕微鏡におけるデータ解析法の開発を主な目標とした．これまで以下の成果を得た．
（１）主である反射モードでの分光データ解析に、透過モードでのデータ解析を加えることにより、単波長における、データ解析を可能とした。
（２）顕微鏡による透過モード計測を可能にするためのシステム設計変更を行った。
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| 今後の研究の推進方策 |
令和３年度に開発したデータ解析方法については、その有効性が検証されたものの、問題点もある。問題点の一つが、透過モードでの計測における、試料の透過基板内の多重反射の影響である。令和４年度には、その影響を抑えるための理論解析・光学設計を行う。
反射モードと透過モード計測では、両モードで得られた顕微鏡画像のずれが生じる。そのずれを最小限とし、解析結果の精度を上げるためのシステム開発を行う。
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