| 研究課題/領域番号 |
20K04518
|
|---|
| 研究種目 |
基盤研究(C)
|
| 配分区分 | 基金 |
|---|
| 応募区分 | 一般 |
|---|
| 審査区分 |
小区分21030:計測工学関連
|
|---|
| 研究機関 | 山梨大学 |
|---|
研究代表者 |
金 蓮花 山梨大学, 大学院総合研究部, 教授 (40384656)
|
|---|
| 研究分担者 |
近藤 英一 山梨大学, 大学院総合研究部, 教授 (70304871)
|
|---|
| 研究期間 (年度) |
2020-04-01 – 2023-03-31
|
| キーワード | ミュラー行列顕微鏡 / エリプソ顕微鏡 / 反射型イメージング光学系 / 空間分解能 |
|---|
| 研究成果の概要 |
本研究では，非接触で微細構造と材料物性を同時に観察評価できる“斜め照射・斜め観測”用「ミューラー行列顕微鏡」の創製を目的とし，顕微鏡装置の設計・製作，ミューラー行列像から物性・構造解析を行う解析ツールの開発，顕微鏡の応用を行った．具体的には，ダブル球面鏡を用いた結像系の導入を行い，イメージング光学系の色収差ゼロを実現した．解析ツールとしては，顕微鏡の透過・反射両モードにより得られるエリプソメトリーパラメータを用いた解析方法を新たに提案した．エリプソメトリーの面計測における空間分解能定義について提案した．
|
| 自由記述の分野 |
光計測
|
| 研究成果の学術的意義や社会的意義 |
本研究で設計・開発したイメージング光学系により，一般の光学系に存在する収差の波長依存性問題を解決できた．また，本研究で提案した解析ツールは，これまでのエリプソメトリーにおける計測・データ解析時間を短縮することに繋がった．
|
