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2022 年度 研究成果報告書

フォノン熱輸送のデバイスシミュレーション

研究課題

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研究課題/領域番号 20K04611
研究種目

基盤研究(C)

配分区分基金
応募区分一般
審査区分 小区分21060:電子デバイスおよび電子機器関連
研究機関国立研究開発法人産業技術総合研究所

研究代表者

服部 淳一  国立研究開発法人産業技術総合研究所, エレクトロニクス・製造領域, 主任研究員 (80636738)

研究期間 (年度) 2020-04-01 – 2023-03-31
キーワードフォノン / 熱輸送 / 熱伝導 / 半導体デバイス / 熱電デバイス / デバイスシミュレーション / TCAD
研究成果の概要

トランジスタをはじめとする半導体デバイスの挙動を計算機上に再現するデバイス・シミュレーションに対し、熱シミュレーションの正確度を高めるため、半導体では原子の集団運動、すなわち、フォノンが熱の主たる運び手であることに注目し、フォノンによる熱輸送のシミュレーション方法を検討した。そして、標準的なデバイス・シミュレーションの枠組みの中で実現する方法を考案し、フーリエの法則の基づく従来の方法よりも忠実にデバイスで起こる種々の熱関連現象をシミュレーションに反映できるようになった。

自由記述の分野

半導体デバイス物理

研究成果の学術的意義や社会的意義

本研究は、フォノンによる熱輸送のシミュレーションを、標準的なデバイス・シミュレーションの枠組みに完全に適合する形で実現する方法を検討した初めての取り組みであった。考案した方法は標準的なデバイス・シミュレータに容易に実装できる。既に、研究代表者の所属機関で開発するデバイス・シミュレータ「Impulse TCAD」に実装しており、希望者は当該機関の所定の手続きを経れば使用することができる。

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公開日: 2024-01-30  

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