| 研究課題/領域番号 |
20K05066
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| 研究機関 | 愛知工業大学 |
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研究代表者 |
坂 公恭 愛知工業大学, 総合技術研究所, 教授 (90023267)
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| 研究分担者 |
岩田 博之 愛知工業大学, 工学部, 教授 (20261034)
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| 研究期間 (年度) |
2020-04-01 – 2025-03-31
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| キーワード | レーザ / ボイド / Si / プラズマ |
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| 研究実績の概要 |
Siに透過性の赤外線レーザを照射すると、Si内部で種々の変化が起きる。その代表的なものが①ボイドの発生、②転位の形成、③亀裂の発生である。このうち、②および③はレーザ照射による局所的な温度上昇に起因するひずみによって説明ができる。問題は①のボイドの発生である。その機構に関しては様々な説が提唱されているが、いまだ解明されたとは言い難い。
本研究は透過型電子顕微鏡などを駆使してその生成の機構を解明しようとするものである。本年度の研究の結果、ボイドは従来考えられていたような真空ではなく、レーザ照射により超高温に(14000℃）に加熱された結果、Siがプラズマ化したものであることを発見した。
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| 現在までの達成度 (区分) |
現在までの達成度 (区分)
1: 当初の計画以上に進展している
理由
ボイドが真空ではなく、プラズマ化したSiであることを発見した。これは当初の予想を大幅に書き換えるもので大成功と言っても過言ではない。
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| 今後の研究の推進方策 |
プラズマ化したSiの挙動を解明する。これは新しい研究分野の門を開くものと期待できる。
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| 次年度使用額が生じた理由 |
当初予定していいた国内会議、国際会議等の出席がコロナのため見送らざるを得なかったため。
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