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中空状の窒化ガリウム薄膜の面内に周期的な屈折率分布を形成した構造（GaNスラブ型フォトニック結晶）は、可視光帯の光回路素子への応用が期待される。本研究では、レーザ光源によって引き起こされる化学反応を原理とする新たな溶液エッチング法を用いることで、GaNスラブ型フォトニック結晶の品質改善に取り組んだ。同手法により、GaNスラブ型フォトニック結晶の下地にある窒化インジウムガリウム材料を選択的に除去することで、従来法より高い可視光の閉じ込め強度を持つ微小共振器の実現に成功した。本成果は、GaNスラブ型フォトニック結晶を基軸とする可視光帯光回路素子の高品質作製技術への応用が期待される。
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