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本研究では，アモルファスSi-Ge合金での低温結晶化メカニズム解明のために，分子動力学気相堆積シミュレーションによってアモルファスSi-Ge合金薄膜モデルを作製し，加熱構造緩和を調べた．作製したアモルファスモデルの構造緩和挙動は堆積時のアモルファス構造に大きく依存することが示唆された．これまでに，実験において結晶化温度がSi濃度に対して非単調に変化することを見出している[Okugawa et al., J. Appl. Phys. (2020)]．このような特異な結晶化挙動は，堆積薄膜に形成される結晶性クラスターの安定性の組成に対する非単調な変化によって起こっていると理解される．
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