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本研究では、シリコン表面に対する保護と面外方向への電子などのキャリアの輸送を両立する導電性保護膜として、シリコンナノ結晶/酸化シリコン複合膜の研究を行い、結晶シリコン表面に対する極めて高い保護性能と導電性が得られた。本研究は、半導体と異種材料を接合した際に形成される界面の制御技術の基盤となりうる。そのため、本研究は表面・界面制御工学の発展に寄与すると考えられる。また、様々な材料とシリコンを物理的には間隔をとりつつも電気的にはやり取りが可能とすることができるため、様々な材料をシリコンテクノロジーへ実装する際に必要となる材料になることが期待され、学術的にも社会的にも重要な成果が得られた。
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