Nanoengineered nanochannels for energy harvesting of low-grade waste heat

2023 年度 研究成果報告書

• 研究課題/領域番号: 20K15147
• 研究種目: 若手研究
• 配分区分: 基金
• 審査区分: 小区分28050:ナノマイクロシステム関連
• 研究機関: 東北大学
• 研究代表者: グエン・ヴァン トゥアン 東北大学, 工学研究科, 准教授 (30795117)
• 研究期間 (年度): 2020-04-01 – 2024-03-31
• キーワード: Nanochannels / Energy harvesting / IoT sensing systems / Thermoelectric generator

研究成果の概要

この研究では、温度勾配によって誘導されたナノチャネル内のイオンナノ流体輸送に基づく熱電変換を実証しています。シリコン(Si)基板と酸化アルミニウム(Al2O3)膜において、2種類の高周期性と高アスペクト比を持つナノチャネルが作製されました。シリコンナノチャネルは、直径100 nm、高さ300 μmの寸法で、金属支援化学エッチングプロセス（MACE）によって作製され、一方、直径10 nm、高さ3 μmのナノチャネルは、陽極酸化アルミニウム(AAO)プロセスによりAl2O3;膜に作製されました。さらに、新しい熱ナノ流体エネルギー収集のアプローチが提案され、実施されました。

自由記述の分野

Nanoengineering

研究成果の学術的意義や社会的意義

The harvested power in this work could be used as a green energy source to power wireless IoT sensing systems. Between 2020 and 2023, I published 15 peer-reviewed journal articles, 1 book chapter and result achievement has been presented at over 10 international conferences.