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2017 年度 実績報告書

新原理エレクトロニクス創成に向けた電子系-格子系・高速エネルギー変換技術の確立

研究課題

研究課題/領域番号 17H06211
配分区分補助金
研究機関静岡大学

研究代表者

小野 行徳  静岡大学, 電子工学研究所, 教授 (80374073)

研究分担者 Moraru Daniel  静岡大学, 電子工学研究所, 准教授 (60549715)
研究期間 (年度) 2017-06-30 – 2022-03-31
キーワードフォノン / シリコン / エネルギー散逸
研究実績の概要

従来の熱電変換(あるいは既存の電子系⇔格子系エネルギー変換)は、平衡状態の熱力学に基礎を置き拡散(ドリフト)現象を扱うため、本質的に低速であり、如何なる材料,構造を用いようとも、エネルギー緩和時間より高速に動作させることはできない。一方、MOSトランジスタスのエネルギー消費は、ホットキャリアのエネルギーが格子系(フォノン)のエネルギーへと変換され最終的に「熱」(常温下での音響フォノン)として散逸することにより起こるが、この過程は極端な非平衡プロセスであり、避けることのできないものと考えられている。
本研究では、上記の既成概念を変革し、緩和時間の壁を超えて「高速な」電子系⇔格子系エネルギー変換を実証し、これまで不可避と考えられていたホットキャリアのエネルギー散逸が制御可能であることを示すとともに、MOSトランジスタをベースとした高速信号処理回路に組み込み可能な、高速エネルギー変換デバイスを提示する。
本年度はその準備段階として、T字型デバイスの電子エネルギー散逸過程を詳細に調べ、電子電子散乱が極めて重要な役割を担っていることを明らかにした。また、この電子電子散乱を回避して、フォノンによるエネルギー散逸過程を調べる手法を新たに発案した。
同時に、電子電子散乱によりトランジスタの電流を増幅できる可能性を見出した。具体的には、電子電子散乱によりT字領域に電圧降下が生じ、この電圧降下がベース電流を引き起こす現象を見出した。

現在までの達成度 (区分)
現在までの達成度 (区分)

1: 当初の計画以上に進展している

理由

T字型デバイスの電子エネルギー散逸過程を詳細に調べ、電子電子散乱が極めて重要な役割を担っていることを明らかにした。また、この電子電子散乱を回避して、フォノンによるエネルギー散逸過程を調べる手法を新たに発案した。このことは、本課題のベースとなる知見であり、今後順調に解析を進めることができることを示している。
一方、電子電子散乱によりトランジスタの電流を増幅できる可能性を見出したことは、新たな知見であり、今後、エネルギー散逸制御に向けた新たな手法の開拓に道を開くものである。

今後の研究の推進方策

T字型デバイスの解析を中心に進める。電子濃度を変化させることにより、フォノン散乱効子電子散乱が極めて重要な役割を担っていることを明らかにした。
一方、この電子電子散乱を回避して、フォノンによるエネルギー散逸過程を調べる手法を新たに発案したこことを受け、電子電子散乱によりT字領域に電圧降下が生じる現象を利用したデバイスを提案し実証する。また、そのための基礎実験を行う。

  • 研究成果

    (14件)

すべて 2018 2017 その他

すべて 雑誌論文 (1件) (うち査読あり 1件) 学会発表 (12件) (うち国際学会 5件、 招待講演 3件) 備考 (1件)

  • [雑誌論文] Real-time Monitoring of Charge-pumping Process for SiO2/Si Interface Analysis2017

    • 著者名/発表者名
      M. Hori, T. Watanabe and Y. Ono
    • 雑誌名

      Intl. Symp. Elec. and Com. Eng

      巻: - ページ: 52-56

    • DOI

      10.1109/QIR.2017.8168450

    • 査読あり
  • [学会発表] PtHfSi/p-Si(100)ショットキー接合の低温特性2018

    • 著者名/発表者名
      渡邉時暢、多胡友、杉浦史悦、堀匡寛、小野行徳、塚本裕也、大見俊一郎
    • 学会等名
      平成29年度生体医歯工学共同研究拠点成果報告会
  • [学会発表] 身近な糖を燃料とするバイオ発電デバイスの開発2018

    • 著者名/発表者名
      三宅丈雄、堀匡寛、小野行徳
    • 学会等名
      平成29年度生体医歯工学共同研究拠点成果報告会
  • [学会発表] チャージポンピングEDMR法を用いたシリコン酸化膜界面欠陥の検出2018

    • 著者名/発表者名
      堀匡寛、土屋敏章、小野行徳
    • 学会等名
      第65回応用物理学会春季学術講演会
    • 招待講演
  • [学会発表] チャージポンピング法によるSi/SiO2界面近傍酸化膜トラップの評価2018

    • 著者名/発表者名
      土屋敏章、堀匡寛、小野行徳
    • 学会等名
      第65回応用物理学会春季学術講演会
  • [学会発表] チャージポンピングEDMR法における信号強度の温度異存性評価2018

    • 著者名/発表者名
      安藤克哉、堀匡寛、土屋敏章、小野行徳
    • 学会等名
      第65回応用物理学会春季学術講演会
  • [学会発表] Observation of Impact Ionization in Silicon at Low Temperature2017

    • 著者名/発表者名
      Y.Ono, H.Firdaus and M.Hori
    • 学会等名
      IV Bilateral Italy-Japan Seminar
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] Charge pumping EDMR towards ultimate charge/spin control at room temperature in silicon2017

    • 著者名/発表者名
      M.Hori and Y.Ono
    • 学会等名
      IV Bilateral Italy-Japan Seminar
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] Sensitive Detection of Holes Generated by Impact Lonization in Silicon2017

    • 著者名/発表者名
      H.Firdaus,M.Hori, Y.Takahashi, A.Fujiwara and Y.Ono
    • 学会等名
      2017 IEEE Silicon Nanoelectronics Workshop
    • 国際学会
  • [学会発表] Real-time Monitoring of Charge-pumping Process for SiO2/Si Interface Analysis2017

    • 著者名/発表者名
      M.Hori,T.Watanabe and Y.Ono
    • 学会等名
      The 15th International Conference on QiR
    • 国際学会
  • [学会発表] Charge pump in silicon-Physics and application of charge transfer-2017

    • 著者名/発表者名
      Y.Ono
    • 学会等名
      16th International Conference on Global Research and Education
    • 国際学会
  • [学会発表] チャージポンピングEDMR法を用いたシリコン酸化膜界面欠陥の検出2017

    • 著者名/発表者名
      堀匡寛、土屋敏章、小野行徳
    • 学会等名
      第78回応用物理学会秋季学術講演会
  • [学会発表] Silicon-on-insulatorデバイスにおける低温チャージポンピング2017

    • 著者名/発表者名
      渡邉時暢、堀匡寛、小野行徳
    • 学会等名
      電子情報通信学会 シリコン材料・デバイス研究会
  • [備考] 静岡大学電子工学研究所 小野・堀研究室ホームページ

    • URL

      https://wwp.shizuoka.ac.jp/nano/

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公開日: 2018-12-17   更新日: 2020-07-30  

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