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2018 年度 実績報告書

新原理エレクトロニクス創成に向けた電子系-格子系・高速エネルギー変換技術の確立

研究課題

研究課題/領域番号 17H06211
配分区分補助金
研究機関静岡大学

研究代表者

小野 行徳  静岡大学, 電子工学研究所, 教授 (80374073)

研究分担者 Moraru Daniel  静岡大学, 電子工学研究所, 准教授 (60549715)
研究期間 (年度) 2017-06-30 – 2022-03-31
キーワードフォノン / エネルギー散逸 / シリコン
研究実績の概要

本研究の主題は、「ホットキャリアから放出された高エネルギーフォノンが低エネルギー熱フォノンに分解し、エネルギーが拡散(散逸)するより速く、そのエネルギーを電子エネルギーに再変換する」というものである。その時間スケールは1 ー 100 psであり、MOSトランジスタのスイッチング時間と同程度である。したがって本研究では、このような高速な電子系―格子系エネルギー変換のための二つの基幹技術を構築することが大きな目標の一つとなる。
今年度、電子流体効果をシリコンにおいてはじめて観測し、フォノンによるエネルギー散逸を避けて電流増幅が可能であることを示した(Nature Communications. 2018)。この結果は、本来、電子の流れの中で熱として散逸するエネルギーを電子―電子散乱を用いて他の電子に移送することにより、電流増幅を実現するというものであり、電子―格子系エネルギー変換において、電子―電子散乱が本質的に重要な役割を担っていることを示している。同時に、新たな低消費電力デバイスの可能性を示すものである。
また、ホットキャリアから生成される電子・正孔対(インパクト・イオン化)を単一事象レベルで検出する手法を提案し、その基本要素である単一正孔の検出に成功した(Applied Physics Letters, 2018)。この結果は、インパクト・イオン化の逆過程であるバンド間オージェ散乱と組み合わせることにより、新たなエネルギー散逸制御手法を提示するものであり、今後のフォノン制御技術確立のためにも重要な知見となる。

現在までの達成度 (区分)
現在までの達成度 (区分)

1: 当初の計画以上に進展している

理由

概要の項に記したように、電子-電子散乱を用いたフォノン放出制御可能性を示す結果が新たに得られており、予想外の成果を得ることができた。同結果は、Nature Communicationsに採択され、報道発表を行うとともに、日本経済新聞等に研究成果が掲載された。
また、ホットキャリアから生成される電子・正孔対を単一事象レベルで検出する手法を提案し、同結果を、Applied Physics Letters誌に投稿し採択された。この結果は、エネルギー散逸制御の新たな手法を提示するこのであり、今後のフォノン制御技術確立のための重要な知見となる。

今後の研究の推進方策

今後は、本年度の結果を受けて、ナノスケールでの電子―電子散乱とエネルギー散逸既報との関係を詳細に調べる。特に、デバイス動作の高温化(現在は8ケルビン)のための、散乱阻害要因を明らかにする。また、高速制御技術確立のために、MOS電子系の短時間パルス電流発生技術の確立に取り組む。本計画において、代表者小野は、測定系構築と測定を担務する。一方、分担者モラルはデバイス試作を担務する。

  • 研究成果

    (12件)

すべて 2019 2018 その他

すべて 雑誌論文 (3件) (うち査読あり 3件、 オープンアクセス 1件) 学会発表 (8件) (うち国際学会 4件、 招待講演 3件) 備考 (1件)

  • [雑誌論文] Electron Aspirator using Electron-electron Scattering in Nanoscale Silicon2018

    • 著者名/発表者名
      H. Firdaus, T. Watanabe, M. Hori, D. Moraru, Y. Takahashi, A. Fujiwara, Y. Ono
    • 雑誌名

      Nature Communications

      巻: 9 ページ: 4813_1-8

    • DOI

      10.1038/s41467-018-07278-8

    • 査読あり / オープンアクセス
  • [雑誌論文] Detection of single holes generated by impact ionization in silicon2018

    • 著者名/発表者名
      H. Firdaus, T. Watanabe, M. Hori, D. Moraru, Y. Takahashi, A. Fujiwara, Y. Ono
    • 雑誌名

      Applied Physics Letters

      巻: 113 ページ: 163103_1-4

    • DOI

      10.1063/1.5046865

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Detection and Characterization of Single Near-Interface Oxide Traps with the Charge Pumping Method2018

    • 著者名/発表者名
      T. Tsuchiya, M. Hori, Y. Ono
    • 雑誌名

      Proceedings of 2018 IEEE International Symposium on the Physical and Failure Analysis of Integrated Circuits (IPFA)

      巻: - ページ: 1-4

    • DOI

      10.1109/IPFA.2018.8452495

    • 査読あり
  • [学会発表] Effect of dimensionality on the formation of dopant-induced quantum-dots in heavily doped Si Esaki diodes2019

    • 著者名/発表者名
      G.Prabhudesai, M.Manoharan, M.Hori, Y.Ono, H.Mizuta, M.Tabe, D.Moraru
    • 学会等名
      2019年 第66回応用物理学会春季学術講演会
  • [学会発表] 2トラップ間のチャージポンピング相互作用2019

    • 著者名/発表者名
      土屋敏章, 堀匡寛, 小野行徳
    • 学会等名
      2019年 第66回応用物理学会春季学術講演会
  • [学会発表] シリコンMOS界面におけるチャージポンピングEDMR2019

    • 著者名/発表者名
      堀匡寛, 土屋敏章, 小野行徳
    • 学会等名
      2019年 第66回応用物理学会春季学術講演会
  • [学会発表] Electron-electron scattering in nano-scaled sillicon2019

    • 著者名/発表者名
      Yukinori Ono
    • 学会等名
      5th International Conference on Nanoscience and Nanotechnology(ICONN2019)
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] Charge pumping EDMR on silicon MOSFETs2019

    • 著者名/発表者名
      M. Hori, Y. Ono
    • 学会等名
      5th International Conference on Nanoscience and Nanotechnology (ICONN2019)
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] チャージポンピングEDMR法を用いたSiO2/Si界面の欠陥検出2018

    • 著者名/発表者名
      堀匡寛,小野行徳
    • 学会等名
      2018年日本表面真空学会中部支部研究会
    • 招待講演
  • [学会発表] Remote Detection of Holes Generated by Impact Ionization2018

    • 著者名/発表者名
      H.Firdaus,M.Hori,Y.Ono
    • 学会等名
      17th International Conference on Global Research and Education Inter-Academia 2018
    • 国際学会
  • [学会発表] Detection and Characterization of Single Near-Interface Oxide Traps with the Charge Pumping Method2018

    • 著者名/発表者名
      T. Tsuchiya, M. Hori, Y. Ono
    • 学会等名
      International Symposium on the Physical and Failure Analysis of Integrated Circuits (IPFA)
    • 国際学会
  • [備考] 小野・堀研究室ホームページ

    • URL

      https://wwp.shizuoka.ac.jp/nano/

URL: 

公開日: 2019-12-27   更新日: 2020-07-30  

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