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2021 年度 実績報告書

新原理エレクトロニクス創成に向けた電子系-格子系・高速エネルギー変換技術の確立

研究課題

研究課題/領域番号 20K20289
研究機関静岡大学

研究代表者

小野 行徳  静岡大学, 電子工学研究所, 教授 (80374073)

研究分担者 Moraru Daniel  静岡大学, 電子工学研究所, 准教授 (60549715)
研究期間 (年度) 2020-04-01 – 2022-03-31
キーワードフォノン / エネルギー散逸 / シリコン
研究実績の概要

本研究の主題は、「ホットキャリアから放出された高エネルギーフォノンが低エネルギー熱フォノンに分解し、エネルギーが拡散(散逸)するより速く、そのエネルギーを電子エネルギーに再変換する」というものである。その時間スケールは1 ー 100 psであり、MOSトランジスタのスイッチング時間と同程度である。したがって本研究では、このような高速な電子系―格子系エネルギー変換のための二つの基幹技術を構築することが大きな目標の一つとなる。
これまでに、電子流体効果をシリコンにおいてはじめて観測し、フォノンによるエネルギー散逸を避けて電流増幅が可能であることを示し、電子流体効果が、電流経路における摩擦(抵抗)により律速されていることを明らかにしている。これらの結果は、電子―格子系エネルギー変換において、電子―電子散乱が本質的に重要な役割を担っていることを示す結果である。また、あらたにシリコンのナノデバイスにおいて、弾道電子の直接観測に成功したことを受け、本年度は、昨年度より継続しているデバイス試作を完了し、良好な基本特性を確認した。
極低温において、シリコン2次元電子系の金属絶縁体転移をゲート制御できることを示した。この結果は、シリコンMOS電子系のエネルギー散逸における電子間相互作用効果を研究する新たな手法を提供する可能性を秘めている。また、界面におけるエネルギー散逸過程を調べる過程で、電気的電子スピン共鳴法により、ドーパント原子を検出できることを見出した。さらに、シリコンエサキダイオードにおいて、0.3Kにおいて光学、および音響フォノンの放出現象の観測に加え、あらたにゼロバイアス異常を観測し、これがポーラロン効果であることを示唆する結果を得た。これはこれまで未観測であったシリコン電子系-格子系の多体効果であり、今後新たな電子系-格子系エネルギー変換技術へと発展していくことが期待される。

  • 研究成果

    (12件)

すべて 2022 2021 その他

すべて 雑誌論文 (2件) (うち査読あり 2件) 学会発表 (9件) (うち国際学会 2件、 招待講演 2件) 備考 (1件)

  • [雑誌論文] Critical conductance of two-dimensional electron gas in silicon-on-insulator metal-oxide-semiconductor field-effect transistor2021

    • 著者名/発表者名
      M. Razanoelina, M. Hori, A. Fujiwara, Y. Ono
    • 雑誌名

      Applied Physics Express

      巻: 14 ページ: 104003_1-4

    • DOI

      10.35848/1882-0786/ac25c4

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Detection of arsenic donor electrons using gate-pulse-induced spin-dependent recombination in silicon transistors2021

    • 著者名/発表者名
      M. Hori, Y. Ono
    • 雑誌名

      Applied Physics Letters

      巻: 118 ページ: 263504_1-6

    • DOI

      10.1063/5.0053196

    • 査読あり
  • [学会発表] MOS界面の単一欠陥チャージポンピングによって可能となった両性準位における電子捕獲素過程の直接観測(1)-両性準位のDOS-2022

    • 著者名/発表者名
      土屋敏章, 堀匡寛, 小野行徳
    • 学会等名
      2022年第69回応用物理学会春季学術講演会
  • [学会発表] MOS界面の単一欠陥チャージポンピングによって可能となった両性準位における電子捕獲素過程の直接観測(2)-アクセプタ型準位-2022

    • 著者名/発表者名
      土屋敏章, 堀匡寛, 小野行徳
    • 学会等名
      2022年第69回応用物理学会春季学術講演会
  • [学会発表] MOS界面の単一欠陥チャージポンピングによって可能となった両性準位における電子捕獲素過程の直接観測(3)-ドナー型準位-2022

    • 著者名/発表者名
      土屋敏章, 堀匡寛, 小野行徳
    • 学会等名
      2022年第69回応用物理学会春季学術講演会
  • [学会発表] Si MOSFETにおける電子スピン共鳴チャージポンピング2022

    • 著者名/発表者名
      堀匡寛, 小野行徳
    • 学会等名
      東北大学-静岡大学合同冬季研究会 共同プロジェクト研究(R02/S01)先端的コヒーレント波技術の基盤構築とその応用
  • [学会発表] ナノスケールシリコンにおける電荷と電流の制御2021

    • 著者名/発表者名
      小野行徳
    • 学会等名
      第23回高柳健次郎記念シンポジウム
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] Charge Pumping under Electron Spin Resonance in Si MOSFETs - Identification of Interface Defects and Detection of Donor Electrons -2021

    • 著者名/発表者名
      M. Hori, Y. Ono
    • 学会等名
      2021 International Workshop on DIELECTRIC THIN FILMS FOR FUTURE ELECTRON DEVICES: SCIENCE AND TECHNOLOGY (IWDTF 2021)
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] 4端子シリコン・エサキダイオードの作製と低温特性評価2021

    • 著者名/発表者名
      金原涼伽, 加藤拓也, 堀匡寛, 小野行徳
    • 学会等名
      第82回応用物理学会秋季学術講演会
  • [学会発表] シリコントランジスタのゲート制御による電子正孔系の形成手法の確立2021

    • 著者名/発表者名
      久米仁也, 堀匡寛, 小野行徳
    • 学会等名
      第82回応用物理学会秋季学術講演会
  • [学会発表] チャージポンピングEDMRを用いたシリコントランジスタ中のヒ素ドナー電子の検出2021

    • 著者名/発表者名
      堀匡寛, 小野行徳
    • 学会等名
      第82回応用物理学会秋季学術講演会
  • [備考] 静岡大学 小野・堀研究室ホームページ

    • URL

      https://wwp.shizuoka.ac.jp/nano/

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公開日: 2022-12-28  

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