| 研究課題/領域番号 |
20K20555
|
|---|
| 研究種目 |
挑戦的研究(開拓)
|
| 配分区分 | 基金 |
|---|
| 審査区分 |
中区分29:応用物理物性およびその関連分野
|
|---|
| 研究機関 | 国立研究開発法人理化学研究所 |
|---|
研究代表者 |
原田 研 国立研究開発法人理化学研究所, 創発物性科学研究センター, 上級研究員 (20212160)
|
|---|
| 研究分担者 |
森 茂生 大阪公立大学, 工学(系)研究科(研究院), 教授 (20251613)
|
|---|
| 研究期間 (年度) |
2020-07-30 – 2023-03-31
|
| キーワード | シュリーレン法 / ホロコーン照明法 / ラミノグラフィー / トリゴノグラフィー / 空間電磁場 / 広視野観察 |
|---|
| 研究成果の概要 |
電子線干渉に強く依存しない位相分布の可視化法としてのシュリーレン法と、３次元計測法のラミノグラフィーに注目し、観察試料の内部だけでなく、試料周りの広範囲の空間電磁場を可視化・計測できるシュリーレン電子顕微鏡法を開発した。この手法では非干渉型の熱電子型透過電子顕微鏡を用いて、電子線ホログラフィーを凌ぐ広視野の電磁場観察を実現できた。
さらに、汎用型の走査型電子/イオン顕微鏡を用いたSub-mm四方の空間電磁場が観察できるLorentz SEM/SIM法の開発、500mTの強磁場印加状態で試料観察が可能なLorentz顕微鏡法、および電子線ホログラフィーの開発を行った。
|
| 自由記述の分野 |
電子線物理学および電子顕微鏡学
|
| 研究成果の学術的意義や社会的意義 |
本研究では、汎用型の電子顕微鏡を用いて電子線ホログラフィーなど実用化されている干渉計測法では計測が困難な、広範囲の空間電磁場の可視化を可能とする技術開発を行った。sub-mmサイズからsub-μｍサイズまでを広く、かつ廉価にカバーできる電子顕微鏡手法である。今後、バイオ系を含む様々な装置開発、材料のマクロスコピックからメゾスコピックな物性解析に応用されるだけでなく、光学の原理、結像理論に根差している手法であるため、解析法の習得を通して、これら分野の教育にも利用されると期待される。
|
