本研究では,GaN中の転位を3次元的に可視化可能な多光子励起フォトルミネッセンスに基づくレーザー顕微鏡法について,3次元像の取得時間を大幅に低減する新しい方法を提案した.本イメージング法では,光ニードル状の集光スポットを走査励起光として,フォトルミネッセンスをエアリービームに変換することで,発光点の深さ情報を検出面での面内情報をとして取得することを基本原理とする.開発した顕微鏡システムによって,ニードルスポットの1回の2次元走査のみから,観察面を移動することなくGaN中の転位分布を迅速に可視化できることを実証した.
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