本研究の目的は、幅広い径の微粒子に対して用いることができる微粒子検出装置をキーホルダーほどの大きさで実現することである。提案する素子に必要な超小型MEMSマイクロポンプをPZT圧電ダイアフラムアクチュエータを利用して実現することに成功した。また、提案する構造の実現には流量を計測することが必要となるため、別途数百nL/minの微小流量が計測できるマイクロ流路に埋め込むことが可能な流量センサを開発した。また、散乱光計測ではフローセル中の粒子の形状差を検出することができ、以上これらのことから提案構造実現のための要素技術を網羅的に実現することができた。
|