研究課題/領域番号 |
21246015
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研究機関 | 大阪大学 |
研究代表者 |
栖原 敏明 大阪大学, 大学院・工学研究科, 教授 (90116054)
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研究分担者 |
藤村 昌寿 大阪大学, 大学院・工学研究科, 准教授 (80263218)
上向井 正裕 大阪大学, 大学院・工学研究科, 助教 (80362672)
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キーワード | 光集積回路 / 非線形光学 / 光導波路 / 量子光学デバイス / フォトニクス |
研究概要 |
本年度は強閉じ込め導波路と擬似位相整合(QPM)用周期分極反転構造の形成技術の研究を続けるとともに量子フォトニックデバイスの作製・評価を行った。 1. 強閉じ込め埋込み導波路作製技術の確立 表面親水化処理結晶直接接合アニールプロトン交換導波路の作製技術を確立し、QPM-SHGデバイスを作製して性能評価した。QPM構造をアライメント接合する技術でSHG効率を改善した。また結晶薄膜導波路を加工した強閉じ込め導波路の作製技術改善として、Au/Crマスク使用(電界印加)マイクロプロトン交換増速エッチング法を開発した。 2. 極微周期分極反転擬似位相整合(QPM)構造作製技術 光損傷耐性に優れたMgO添加LN結晶に微細周期QPM構造を形成する技術として、紫外光照射2段階室温電圧印加法を確立し、QPM-SHGデバイスを作製して良好な結果を得た。また結晶加熱電圧印加法による分極反転構造形成において周期微細化を図り、電気光学変調特性を評価してその有用性を実証した。さらにμm/サブμm周期のQPM構造形成技術確立に向けて、EB描画形成した周期電極への電圧印加による分極反転に関する実験的知見を得た。 3. 非線形量子フォトニックデバイスの理論解析および作製と特性評価 対向伝搬光子対発生デバイスの量子論解析技術を確立し設計データを収集した。またMgO:LiNbO_3導波路型QPM光子対発生デバイスを作製し、温度による光子対波長制御の可能性を検証した。 4. 集積非線形フォトニックデバイスのための半導体レーザの設計・作製 光子対発生デバイスなどの励起光源として使用できる可変波長単一モード発振リッジ導波路型DBRレーザや2波長集積DBRレーザを設計・作製し、その動作を実証した。
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