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2010 年度 実績報告書

ナノ組織制御薄膜応用遠隔動ひずみ分布計測システム

研究課題

研究課題/領域番号 21246021
研究機関東北大学

研究代表者

三浦 英生  東北大学, 大学院・工学研究科, 教授 (90361112)

研究分担者 鈴木 研  東北大学, 大学院・工学研究科, 助教 (40396461)
キーワードひずみ / 計測 / 非破壊検査 / カーボンナノチューブ / 電気伝導 / 分子動力学 / 第一原理
研究概要

本研究では,実社会の多様な構造物,特に回転体や運動体の動ひずみのオンラインモニタリングを可能とし,安全で安心な社会基盤の構築とその健全性評価の実現を目的に,多層カーボンナノチューブ(Multi-Walled Carbon Nano Tube:MWCNT)のみを使用し,その配向性を制御して樹脂薄膜中に分散させる技術を開発し,安定した高感度(ゲージ率>1000)の実現と,動ひずみを10ppm以下の分解能で実時間非接触測定する技術とその具体的な測定システムを開発することを目的としている.
本年度は,超高感度(ゲージ率>1000)を実現するための多層カーボンナノチューブ(MWCNT)の配列制御して成長させる薄膜作製技術の確立を目標とし,アークプラズマ法を用いた成長核形成技術と,化学気相蒸着(CVD)法応用したMWCNT成長技術を開発した.MWCNTを成長させる結晶核と成長法の組み合わせを実験的に検討し,1)一軸超高感度ひずみセンサに好適な直線型MWCNTと,等方的ひずみセンサに好適なランダム形状屈曲型MWCNTを成長させる環境条件(初期の核種元素とその膜厚,CVDガス圧,流量と反応基板温度等)を定量的に明らかにするとともに,2)ひずみ負荷環境において樹脂分散型MWCNTの複素インピーダンスの周波数依存性を測定し,数10kHzから数100kHzの範囲で虚数項が高いひずみ感度を有することなどを定量的に明らかにした.
また,遠隔ひずみ計測法として,半導体レーザ素子の発光スペクトル(発光中心波長とその半価幅)のひずみ依存性に着目した動ひずみ計測システムの開発にも成功するなど,今年度の当初目標を達成した.

  • 研究成果

    (16件)

すべて 2011 2010 その他

すべて 雑誌論文 (7件) (うち査読あり 7件) 学会発表 (8件) 備考 (1件)

  • [雑誌論文] Nanostructure Dependence of the Electronic Conductivity of Carbon Nanotubes and Grapheme Sheets2011

    • 著者名/発表者名
      Masato Ohnishi, Katsuya Ohsaki, Yusuke Suzuki, Ken Suzuki, Hideo Miura
    • 雑誌名

      Proc.of 2010 ASME International Mechanical Engineering Congress and Exposition

      巻: IMECE2010-37277 ページ: 1-6

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Quantum Chemical Molecular Dynamics Study of Chemical Reaction Dynamics on Ni-base Alloy Surfaces in Gas-cooled Reactors2010

    • 著者名/発表者名
      Ken SUZUKI, Yoichi TAKEDA, Hideo MIURA
    • 雑誌名

      Journal of Solid Mechanics and Materials Engineering

      巻: 4 ページ: 1644-1653

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Effect of the Mechanical Properties of Underfill on the Local Deformation and Residual Stress in a Chip Mounted by Area-Arrayed Flip Chip Structures2010

    • 著者名/発表者名
      Kohta Nakahira, Yuki Sato, Hiroki Kishi, Ken Suzuki, Hideo Miura
    • 雑誌名

      Proc.of 11tn International conference on Thermal, Mechanical and Multi-Physics Simulation and Experiments in Micro/Nanoelectronics and Systems

      ページ: 641-646

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Nondestructive Evaluation of the Delamination of Fine Bumps in Three-Dimensionally Stacked Flip Chip Structures2010

    • 著者名/発表者名
      Yuhki Sato, Naokazu Murata, Kinji Tamakawa, Ken Suzuki, Hideo Miura
    • 雑誌名

      Proc.of the 60^<th> Electronic Components and Technology Conference

      ページ: 1951-1956

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Remote Non-contact Strain Sensor Using Carbon Nanotube-dispersed Resin2010

    • 著者名/発表者名
      Yusuke Suzuki, Masato Ohnishi, Ken Suzuki, Hideo Miura
    • 雑誌名

      Proc.of IMPACT Conference 2010

      巻: AS015 ページ: 1-4

    • 査読あり
  • [雑誌論文] NONDESTRUCTIVE DETECTION OF OPEN FAILURES IN THREE-DIMENSIONALLY STACKED CHIPS MOUNTED BY AREA-ARRAYED FINE BUMPS2010

    • 著者名/発表者名
      Yuki Sato, Kohta Nakahira, Naokazu Murata, Ken Suzuki, Hideo Miura
    • 雑誌名

      Proc.of 12^<th> International Conference on Electronics Materials and Packaging

      ページ: 117-123

    • 査読あり
  • [雑誌論文] REMOTE DYNAMIC STRAIN MEASUREMENT USING VERTICAL CAVITY SURFACE EMITTING LASER2010

    • 著者名/発表者名
      Yusuke Ohashi, Aya Kaisumi, Atsushi Kitamura, Ken Suzuki, Hideo Miura
    • 雑誌名

      Proc.of 12^<th> International Conference on Electronics Materials and Packaging

      ページ: 131-136

    • 査読あり
  • [学会発表] マイクロひずみ分布センサチップによる実装応力(ひずみ)の評価2010

    • 著者名/発表者名
      三浦英生
    • 学会等名
      エレクトロニクス実装学会2010ワークショップ
    • 発表場所
      静岡
    • 年月日
      2010-10-29
  • [学会発表] NONDESTRUCTIVE DETECTION OF OPEN FAILURES IN THREE-DIMENSIONALLY STACKED CHIPS MOUNTED BY AREA-ARRAYED FINE BUMPS2010

    • 著者名/発表者名
      Yuki Sato, Kohta Nakahira, Naokazu Murata, Ken Suzuki, Hideo Miura
    • 学会等名
      12^<th> International Conference on Electronics Materials and Packaging, Proceedings
    • 発表場所
      Singapore Singapore
    • 年月日
      2010-10-27
  • [学会発表] Mechanical Reliability of 3D Stacked Silicon Chips2010

    • 著者名/発表者名
      Hideo Miura
    • 学会等名
      The 9^<th> International Symposium on Microelectronics and Packaging
    • 発表場所
      Seoul.Korea
    • 年月日
      2010-10-04
  • [学会発表] Improvement of the Interface Integrity between a High-k Dielectric Film and a Metal Gate Electrode by Controlling Point Defects and Residual Stress2010

    • 著者名/発表者名
      Ken Suzuki, Tatsuya Inoue, Hideo Miura
    • 学会等名
      15^<th> International Conference on Simulation of Semiconductor Processes and Devices
    • 発表場所
      Bologna, Italy
    • 年月日
      2010-09-05
  • [学会発表] 異相界面の環境誘起劣化損傷の原子レベルシミュレーション2010

    • 著者名/発表者名
      三浦英生, 鈴木研
    • 学会等名
      日本材料学会破壊力学部門公開委員会
    • 発表場所
      札幌
    • 年月日
      2010-05-21
  • [学会発表] Dominant Structural Factors of the Local Deformation and Residual Stress of a Silicon Chip Mounted on Area-Arrayed Flip Chip Structures2010

    • 著者名/発表者名
      Kohta Nakahira, Naokazu Murata, Yuhki Sato, Ken Suzuki, Hideo Miura
    • 学会等名
      International Conference on Electronics Packaging 2010
    • 発表場所
      札幌
    • 年月日
      2010-05-13
  • [学会発表] Quantum Chemical Molecular Dynamics Simulation of Oxidation Process on Clean Metal Surface in High Temperature Water2010

    • 著者名/発表者名
      Ken Suzuki, Hideo Miura
    • 学会等名
      第133回破壊力学部門委員会講演会
    • 発表場所
      札幌
    • 年月日
      2010-05-12
  • [学会発表] Effect of the Mechanical Properties of Underfill on the Local Deformation and Residual Stress in a Chip Mounted by Area-Arrayed Flip Chip Structures2010

    • 著者名/発表者名
      Kohta Nakahira, Yuki Sato, Hiroki Kishi, Ken Suzuki, Hideo Miura
    • 学会等名
      11tn International conference on Thermal, Mechanical and Multi-Physics Simulation and Experiments in Micro/Nanoelectronics and Systems
    • 発表場所
      Bordeaux, France
    • 年月日
      2010-04-28
  • [備考]

    • URL

      http://www.miura.rift.mech.tohoku.ac.jp/home.htm

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公開日: 2013-06-26  

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