| 研究概要 |
本研究では,数10mm×数10mmの広い計測領域と1nmの高い計測分解能を同時に満足するコンパクト構造の3次元形状計測システムCompact Nano-Profilerを開発した.このシステムは,低重心のX-Y平面ナノ運動テーブルシステム,重力補償機能を組み込んだ鉛直方向ナノ位置決め機構,ならびに走査形トンネル顕微鏡STMプローブシステムから構成され,力学的および熱的に安定な構造を有する超精密形状計測システムである.基本性能を明らかにするため一連の計測評価実験をおこなった結果,構築したシステムがXYZの各軸について1nmの高い位置決め分解能を有すること,長時間にわたる計測時間においても高い計測安定性を有すること,ならびに高い繰返し精度を有することをそれぞれ確認した.さらにSTMプローブを原子間力顕微鏡AFMプローブに換装することにより,絶縁体であるガラスレンズなどのnmスケールの計測が可能であることについても確認し,開発したシステムが様々な材質,形状,寸法の計測対象の3次元ナノ形状計測が可能であることを明らかにした.
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